OpticalCoating光学镀膜设备
NOC-4000进口光学镀膜机
光学镀膜系统
NOC-4000离子束刻蚀溅射镀膜一体机
NRE-3500型带RIE的等离子刻蚀机
NDR-4000（A）进口双模式刻蚀机
等离子刻蚀反应离子刻蚀一体机
NRE-3500型带等离子刻蚀的RIE刻蚀机
NDT-4000热真空试验箱
NLD-4000（ICPM）PEALD系统
NDT-4000热真空环境模拟试验设备
NSC-4000（M）磁控溅射系统
空间环境模拟试验设备
NPE-4000（ICPM）ICPECVD等离子体化学气相沉积系统
SWC-4000兆声清洗系统
NPC-4000微波等离子清洗机
NTE-3500（A）全自动热蒸发系统
NRE-4000（M）反应离子刻蚀
NIE-4000（R）RIBE反应离子束刻蚀
研发用等离子去胶机
第5年
