• 产品名称:NSC-4000Sputter磁控溅射镀膜机

    产品型号:

    产品报价:

    产品特点:NSC-4000Sputter磁控溅射镀膜机:Z先进的全自动溅射系统带有水冷或者加热(Z高可加热到700度)功能的8“旋转样平台,Z大可支持到3个偏轴平面磁控管。系统配套涡轮分子泵,极限真空可达10-7 Torr,15分钟内可以达到10-6 Torr的真空。通过使用RF射频开关,RF射频或DC直流电源可以切换到多磁控管模式。通过调整磁控管与基片之间的距离,可以获得想要的均匀度和沉积速度。

    NSC-4000Sputter磁控溅射镀膜机的详细资料:

    NSC-4000Sputter磁控溅射镀膜机

    NSC-4000Sputter磁控溅射镀膜机产品特点:

    • 不锈钢,铝质腔体或钟罩式耐热玻璃腔
    • 70,250或500 l/s的涡轮分子泵,串接机械泵或干泵
    • 13.56MHz,300-600W RF射频电源以及1KW DC直流电源
    • 晶振夹具具有的<1 ?的厚度分辨率
    • 带观察视窗的腔门易于上下载片
    • 基于LabView软件的PC计算机全自动控制
    • 带密码保护功能的多级访问控制
    • 完全的安全联锁

    选配项:

    • 向上、向下或侧面溅射
    • RF、DC以及脉冲DC溅射
    • 共溅射、反应溅射
    • 组合溅射
    • RF或DC偏压(1000V)
    • 样品台可加热到700°C
    • 膜厚监测仪
    • 基片的RF射频等离子清洗
    • 预真空锁以及自动晶圆片上/下载片

    应用:

    • 晶圆片、陶瓷片、玻璃白片以及磁头等的金属以及介质涂覆
    • 光学以及ITO涂覆
    • 带高温样品台和脉冲DC电源的硬涂覆
    • 带RF射频等离子放电的反应溅射

    型号:

    • NSC-4000:基于PC计算机全自动控制的独立式系统
    • NSC-3500:基于PC计算机全自动控制的紧凑型独立式系统
    • NSC-3000:PC计算机全自动控制的台式系统
    • NSC-1000:半自动控制的台式系统

    (以下为双系统型号)

    • NSR-4000:溅射/RIE系统
    • NSP-4000:溅射/PECVD系统
    • NST-4000:溅射/热蒸发系统

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