NLD-4000(ICPM)PEALD系统
磁控溅射系统
ICPECVD等离子体化学气相沉积系统
NRE-4000(M)反应离子刻蚀
全自动电子束蒸发系统
NDT-4000热真空试验箱
全自动热蒸发系统
原子层沉积系统
NMC-3000等离子辅助MOCVD
LSC-4000兆声大基片湿法去胶清洗系统
SWC-4000兆声晶圆(掩模版)清洗机
NDR-4000(M)DRIE深反应离子刻蚀
NOC-4000进口光学镀膜机
NSC-4000(M)磁控溅射系统
NPE-4000(ICPM)ICPECVD等离子体化学气相沉积系统
NEE-4000(A)全自动电子束蒸发系统
NRE-4000RIE-PE刻蚀机
NPE-4000(ICPA)全自动ICPECVD等离子体化学气相沉积系统
空间环境模拟试验设备
NTE-3500(A)全自动热蒸发系统
NIE-4000(R)RIBE反应离子束刻蚀
中级会员
第9年