上海耀他科技有限公司系那诺中国布局内地市场设立的核心运营主体，主要服务中国大陆的客户，专注于为高校、研究所、企业研发及FAB厂提供技术咨询、产品销售和售后技术支持。
主要产品包括薄膜工艺系统、表面分析检测系统、晶圆加工和量测系统以及其他微纳尺度工艺所涉及的相关系统。
在薄膜工艺系统领域，产品覆盖薄膜沉积设备、薄膜生长设备、干法刻蚀设备、兆声湿法清洗设备等，典型的工艺系统涉及PVD物理气相沉积（磁控溅射、热蒸镀、电子束蒸镀）、CVD化学气相沉积（PECVD、ALD、PA-MOCVD、Parylene派瑞林真空镀膜设备）、干法刻蚀（RIE、ICP、DRIE、IBE、RIBE）、晶圆/掩模版清洗系统（单晶圆清洗、兆声清洗），应用领域涵盖了半导体、MEMS、光电子学、纳米技术和光伏等。
在表面分析检测领域，产品涉及用于材料表面分析应用的飞行时间二次离子质谱仪（TOF-SIMS）、基质辅助激光解吸电离飞行时间质谱仪（MAIDI-ToF MS）。 在晶圆加工系统领域，产品主要为用于科研及小量产型的精密晶圆划片机（Wafer Scriber）。在晶圆量测系统领域，产品主要为晶圆厚度TTV、表面平整度Flatness、弯曲Bow、翘曲Warp、薄膜应力Stress、电阻率Resistance测量仪，以及用于晶圆接触角测量的接触角测量仪（Wafer Contact Angle Measuring System）。 我们以丰富的行业技术经验、逐步完善的营销网络、专业的售后技术支持赢得了市场的广泛认可和支持，我们已售出的设备分布于20多个不同国家的大学、研发中心和国家重点实验室。
我们聘用技术熟练并具有良好教育背景的设计和制造工程师、应用工程师、服务工程师、技术支持人员，使得公司拥有一流的服务团队。作为薄膜工艺设备及表面分析仪器的提供商，我们的目标是提供高品质的服务并始终维持最高水平的集成度。