• Q240微波等离子清洗机:Q系列等离子清洗机是石英腔的微波等离子系统,可以安装到超净间墙上。该系列的微波等离子系统可以用于批处理,也可以作为单片处理,系统为计算机全自动控制的系统。 典型工艺包含:大剂量离子注入后的光刻胶去除;干法刻蚀工艺的前处理或后处理;MEMS制造中的牺牲层去除。
  • Q235微波等离子清洗机:Q系列等离子清洗机是石英腔的微波等离子系统,可以安装到超净间墙上。该系列的微波等离子系统可以用于批处理,也可以作为单片处理,系统为计算机全自动控制的系统。 典型工艺包含:大剂量离子注入后的光刻胶去除;干法刻蚀工艺的前处理或后处理;MEMS制造中的牺牲层去除。
  • Q150微波等离子清洗机:Q系列等离子清洗机是石英腔的微波等离子系统,可以安装到超净间墙上。该系列的微波等离子系统可以用于批处理,也可以作为单片处理,系统为计算机全自动控制的系统。 典型工艺包含:大剂量离子注入后的光刻胶去除;干法刻蚀工艺的前处理或后处理;MEMS制造中的牺牲层去除。
  • ASTRO96全自动微波等离子清洗系统:Alpha等离子系统ASTRO96是一款低压微波等离子系统,用于键合、模塑、焊锡球黏合前的先进芯片封装清洗,以及倒装芯片清洗。ASTRO96是全自动等离子系统,待处理的基片通过片匣缓存区载入,清洗完成后放回同一个片匣缓存区。
共 8 条记录,当前 1 / 2 页  首页  上一页  下一页  末页  跳转到第页 
扫一扫访问手机站扫一扫访问手机站
访问手机站