Q240微波等离子清洗机：Q系列等离子清洗机是石英腔的微波等离子系统，可以安装到超净间墙上。该系列的微波等离子系统可以用于批处理，也可以作为单片处理，系统为计算机全自动控制的系统。 典型工艺包含：大剂量离子注入后的光刻胶去除；干法刻蚀工艺的前处理或后处理；MEMS制造中的牺牲层去除。

Q235微波等离子清洗机：Q系列等离子清洗机是石英腔的微波等离子系统，可以安装到超净间墙上。该系列的微波等离子系统可以用于批处理，也可以作为单片处理，系统为计算机全自动控制的系统。 典型工艺包含：大剂量离子注入后的光刻胶去除；干法刻蚀工艺的前处理或后处理；MEMS制造中的牺牲层去除。

Q150微波等离子清洗机：Q系列等离子清洗机是石英腔的微波等离子系统，可以安装到超净间墙上。该系列的微波等离子系统可以用于批处理，也可以作为单片处理，系统为计算机全自动控制的系统。 典型工艺包含：大剂量离子注入后的光刻胶去除；干法刻蚀工艺的前处理或后处理；MEMS制造中的牺牲层去除。

ASTRO96全自动微波等离子清洗系统：Alpha等离子系统ASTRO96是一款低压微波等离子系统，用于键合、模塑、焊锡球黏合前的先进芯片封装清洗，以及倒装芯片清洗。ASTRO96是全自动等离子系统，待处理的基片通过片匣缓存区载入，清洗完成后放回同一个片匣缓存区。