• 产品名称:Q150微波等离子清洗机

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    产品特点:Q150微波等离子清洗机:Q系列等离子清洗机是石英腔的微波等离子系统,可以安装到超净间墙上。该系列的微波等离子系统可以用于批处理,也可以作为单片处理,系统为计算机全自动控制的系统。
    典型工艺包含:大剂量离子注入后的光刻胶去除;干法刻蚀工艺的前处理或后处理;MEMS制造中的牺牲层去除。

    Q150微波等离子清洗机的详细资料:

    微波等离子清洗去胶技术

    Q150微波等离子清洗机概述:Q系列等离子清洗机是石英腔的微波等离子系统,可以安装到超净间墙上。该系列的微波等离子系统可以用于批处理,也可以作为单片处理,系统为计算机全自动控制的系统。典型工艺包含:大剂量离子注入后的光刻胶去除;干法刻蚀工艺的前处理或后处理;MEMS制造中的牺牲层去除。

    Q150微波等离子清洗机工艺参数:

    • 材质:石英玻璃
    • 容积:6公升
    • 腔体尺寸:直径150mm,深度260mm
    • 腔体后部:铝
    • 腔门:铝质材料制作,抽拉式支撑架跟前门相连,便于手动放片;
    • 气体分布:前门扩散
    • 观察视窗:防紫外及微波
    • 支撑架:铝质材料, 
    • 真空连接:DN25 ISO-KF
    • 压力控制:Pirani,1-100Pa
    • 真空泵:推荐25m3/h
    • 真空阀:电子气动阀,DN25 ISO-KF
    • 真空密封:硅树脂
    • 气体供应:
    • 气体通道:1路数字MFC,装有电磁阀,500sccm(N2校准),1/4" Swagelok接头
    • 卸压:电磁阀,1/4" Swagelok接头
    • 功率:2.45GHz,50-600W连续可调
    • 耦合:微波天线,铝质谐振器,腔体内无电极

    系统控制:

    • PC, Windows, RS 232, USB, Ethernet (也适用于远程控制)
    • 7"触摸屏、图形用户界面
    • Windows Office兼容
    • 存储处理数据和错误信息,处理数据输出
    • 工艺参数图形曲线的 监测
    • 自动或手动操作

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