RIE刻蚀机，又叫等离子蚀刻机、等离子平面刻蚀机、等离子体刻蚀机、等离子表面处理仪、等离子清洗系统等。等离子刻蚀，是干法刻蚀中常见的一种形式，其原理是暴露在电子区域的气体形成等离子体，由此产生的电离气体和释放高能电子组成的气体，从而形成了等离子或离子，电离气体原子通过电场加速时，会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合材料或蚀刻表面。某种程度来讲，等离子清洗实质上是等离子体刻蚀的一种较轻微的情况。
RIE刻蚀机的原理与激光打标机相同，即通过高能量的激光光束照射到材料表面使其瞬间气化形成图案、文字等。而与打标机相比要求的精度更高，对材料表面的加工精度要求也更高，通常激光刻蚀机用在触摸屏行业内的ITO刻蚀，银浆刻蚀等。
在早些年前RIE刻蚀机在行业内几乎都统称为触摸屏激光刻蚀机，在触摸屏行业内得到了广泛应用，手机电阻屏、电容屏的发展也让激光刻蚀机厂家发展发生了质的变化，主要体现为ITO玻璃激光刻蚀、银浆玻璃激光刻蚀等，也有一部分是ITO薄膜与银浆薄膜刻蚀。
而随着手机行业的发展，OLED的崛起，触摸屏行业的激光刻蚀设备逐渐呈现饱和趋势，RIE刻蚀机厂家也随之加大对材料应用的研发投入和应用方向的投入，太阳能、光伏行业将会成为激光刻蚀机下一个重要发展领域。
太阳能光伏行业的一些采用应用包括金属合金薄膜材料，如铝薄膜，铜薄膜，镉薄膜，合金薄膜等。也有一些玻璃镀层和特殊材料镀层的应用，如碳纳米玻璃材料应用，下面是一些光伏行业玻璃/薄膜激光刻蚀样品介绍。
