• 目前,RIE刻蚀机得到了广泛的认可!

    点击次数:342 发布时间:2019-04-16

       RIE刻蚀机,又叫等离子蚀刻机、等离子平面刻蚀机、等离子体刻蚀机、等离子表面处理仪、等离子清洗系统等。等离子刻蚀,是干法刻蚀中常见的一种形式,其原理是暴露在电子区域的气体形成等离子体,由此产生的电离气体和释放高能电子组成的气体,从而形成了等离子或离子,电离气体原子通过电场加速时,会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合材料或蚀刻表面。某种程度来讲,等离子清洗实质上是等离子体刻蚀的一种较轻微的情况。
     
      RIE刻蚀机的原理与激光打标机相同,即通过高能量的激光光束照射到材料表面使其瞬间气化形成图案、文字等。而与打标机相比要求的精度更高,对材料表面的加工精度要求也更高,通常激光刻蚀机用在触摸屏行业内的ITO刻蚀,银浆刻蚀等。
     
      在早些年前RIE刻蚀机在行业内几乎都统称为触摸屏激光刻蚀机,在触摸屏行业内得到了广泛应用,手机电阻屏、电容屏的发展也让激光刻蚀机厂家发展发生了质的变化,主要体现为ITO玻璃激光刻蚀、银浆玻璃激光刻蚀等,也有一部分是ITO薄膜与银浆薄膜刻蚀。
     
      而随着手机行业的发展,OLED的崛起,触摸屏行业的激光刻蚀设备逐渐呈现饱和趋势,RIE刻蚀机厂家也随之加大对材料应用的研发投入和应用方向的投入,太阳能、光伏行业将会成为激光刻蚀机下一个重要发展领域。
     
      太阳能光伏行业的一些采用应用包括金属合金薄膜材料,如铝薄膜,铜薄膜,镉薄膜,合金薄膜等。也有一些玻璃镀层和特殊材料镀层的应用,如碳纳米玻璃材料应用,下面是一些光伏行业玻璃/薄膜激光刻蚀样品介绍。
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