NANO-MASTER （那诺-马斯特）可根据客户需求，提供合适的Plasma Source等离子体源，可以是空心阴极等离子源，也可以是感应耦合等离子源。等离子源可应用于离子辅助镀膜、等离子聚合、等离子清洁、等离子刻蚀、表面改性以及其他材料科学的研究等等。

NANO-MASTER（那诺-马斯特）Platens样品台，又称为基板或加热板，是真空镀膜设备中常用到关键部件。因此样品台可以整合到RIE刻蚀、ICP刻蚀、PECVD、ALD等刻蚀和沉积设备中，给晶圆等样片进行均匀加热和冷却处理，为微纳米薄膜工艺提供精确的温度环境。