• NANO-MASTER(那诺-马斯特)可根据客户需求,提供合适的PlasmaSource等离子体源,可以是空心阴极等离子源,也可以是感应耦合等离子源。等离子源可应用于离子辅助镀膜、等离子聚合、等离子清洁、等离子刻蚀、表面改性以及其他材料科学的研究等等。
  • NANO-MASTER(那诺-马斯特)Platens样品台,又称为基板或加热板,是真空镀膜设备中常用到关键部件。因此样品台可以整合到RIE刻蚀、ICP刻蚀、PECVD、ALD等刻蚀和沉积设备中,给晶圆等样片进行均匀加热和冷却处理,为微纳米薄膜工艺提供精确的温度环境。
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