• 光学镀膜系统:NANO-MASTERNOC-4000光学涂覆系统提供先进的技术,在一个腔体中实现原子级清洗和光学样片抛光,然后把样片传送到第二级腔体中对同一样片进行表面涂覆,整个过程不间断真空。系统的设计也可以支持其中任一个腔体的单独使用,同时具备各自的自动上/下载片功能。
  • NANO-MASTER(那诺-马斯特)可根据客户需求,提供合适的PlasmaSource等离子体源,可以是空心阴极等离子源,也可以是感应耦合等离子源。等离子源可应用于离子辅助镀膜、等离子聚合、等离子清洁、等离子刻蚀、表面改性以及其他材料科学的研究等等。
  • NANO-MASTER(那诺-马斯特)Platens样品台,又称为基板或加热板,是真空镀膜设备中常用到关键部件。因此样品台可以整合到RIE刻蚀、ICP刻蚀、PECVD、ALD等刻蚀和沉积设备中,给晶圆等样片进行均匀加热和冷却处理,为微纳米薄膜工艺提供精确的温度环境。
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