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    产品名称：Platens样品台

    产品型号：

    产品报价：

    产品特点：NANO-MASTER（那诺-马斯特）Platens样品台，又称为基板或加热板，是真空镀膜设备中常用到关键部件。因此样品台可以整合到RIE刻蚀、ICP刻蚀、PECVD、ALD等刻蚀和沉积设备中，给晶圆等样片进行均匀加热和冷却处理，为微纳米薄膜工艺提供精确的温度环境。

    Platens样品台的详细资料：

    NANO-MASTER Platens样平台

    NANO-MASTER(那诺-马斯特）Platens样品台，使用技术，加热均匀性*。NANO-MASTER的样平台（或称为基板、热板）可以加入射频偏压、水冷却、通过模块控制700°C范围的温度。基板的高度可调节，基片可旋转，真空腔体内没有任何引线。任何地方不会出现短路或电弧，因为所有引线、电热偶和冷却水管道都保持在大气压下。NM样品台可以直接安装到你的系统中，无论是RIE刻蚀、ICP刻蚀、ALE刻蚀，还是PECVD、ALD等沉积设备中，我们的基板都可以很方便的配套使用。

    Platens样品台可应用的设备：

    • RIE反应离子刻蚀机
    • ICP感应耦合等离子刻蚀机
    • ALE原子层刻蚀设备
    • PECVD等离子增强化学气相沉积设备
    • ALD原子层沉积设备
    • 其他设备

    ​尺寸：

    • 1-12英寸
    • 可定制

    Platens不同型号对应温度上限：

    • NM-LTP，低温热板，z高可加热到300°C
    • NM-MTP，中温热板，z高可加热到500°C
    • NM-HTP，高温热板，z高可加热到700°C

    ​Different models allow for different temperature limits:

    • NM-LTP - Low Temperature Platen heatable up to 300°C
    • NM-MTP - Mid Temperature Platen heatable up to 500°C
    • NM-HTP - High Temperature Platen heatable up to 700°C

    　如果你对Platens样品台感兴趣，想了解更详细的产品信息，填写下表直接与厂家联系：

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