• 产品名称:Platens样品台

    产品型号:

    产品报价:

    产品特点:NANO-MASTER(那诺-马斯特)Platens样品台,又称为基板或加热板,是真空镀膜设备中常用到关键部件。因此样品台可以整合到RIE刻蚀、ICP刻蚀、PECVD、ALD等刻蚀和沉积设备中,给晶圆等样片进行均匀加热和冷却处理,为微纳米薄膜工艺提供精确的温度环境。

    Platens样品台的详细资料:

    NANO-MASTER Platens样平台

    NANO-MASTER(那诺-马斯特)Platens样品台使用技术,加热均匀性极高。NANO-MASTER的样平台(或称为基板、热板)可以加入射频偏压、水冷却、通过模块控制700°C范围的温度。基板的高度可调节,基片可旋转,真空腔体内没有任何引线。任何地方不会出现短路或电弧,因为所有引线、电热偶和冷却水管道都保持在大气压下。NM样品台可以直接安装到你的系统中,无论是RIE刻蚀、ICP刻蚀、ALE刻蚀,还是PECVD、ALD等沉积设备中,我们的基板都可以很方便的配套使用

    Platens样品台可应用的设备:

    • RIE反应离子刻蚀机
    • ICP感应耦合等离子刻蚀机
    • ALE原子层刻蚀设备
    • PECVD等离子增强化学气相沉积设备
    • ALD原子层沉积设备
    • 其他设备

    尺寸:

    • 1-12英寸
    • 可定制

    Platens不同型号对应温度上限:

    • NM-LTP,低温热板,zui高可加热到300°C
    • NM-MTP,中温热板,zui高可加热到500°C
    • NM-HTP,高温热板,zui高可加热到700°C

    Different models allow for different temperature limits:

    • NM-LTP - Low Temperature Platen heatable up to 300°C
    • NM-MTP - Mid Temperature Platen heatable up to 500°C
    • NM-HTP - High Temperature Platen heatable up to 700°C

     如果你对Platens样品台感兴趣,想了解更详细的产品信息,填写下表直接与厂家联系:

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