NANO-MASTER（那诺-马斯特）Platens样品台，又称为基板或加热板，是真空镀膜设备中常用到关键部件。因此样品台可以整合到RIE刻蚀、ICP刻蚀、PECVD、ALD等刻蚀和沉积设备中，给晶圆等样片进行均匀加热和冷却处理，为微纳米薄膜工艺提供精确的温度环境。

NANO-MASTER Platens样平台

NANO-MASTER(那诺-马斯特）Platens样品台，使用技术，加热均匀性*。NANO-MASTER的样平台（或称为基板、热板）可以加入射频偏压、水冷却、通过模块控制700°C范围的温度。基板的高度可调节，基片可旋转，真空腔体内没有任何引线。任何地方不会出现短路或电弧，因为所有引线、电热偶和冷却水管道都保持在大气压下。NM样品台可以直接安装到你的系统中，无论是RIE刻蚀、ICP刻蚀、ALE刻蚀，还是PECVD、ALD等沉积设备中，我们的基板都可以很方便的配套使用。

Platens样品台可应用的设备：

• RIE反应离子刻蚀机
• ICP感应耦合等离子刻蚀机
• ALE原子层刻蚀设备
• PECVD等离子增强化学气相沉积设备
• ALD原子层沉积设备
• 其他设备

​尺寸：

• 1-12英寸
• 可定制

Platens不同型号对应温度上限：

• NM-LTP，低温热板，z高可加热到300°C
• NM-MTP，中温热板，z高可加热到500°C
• NM-HTP，高温热板，z高可加热到700°C

​Different models allow for different temperature limits:

• NM-LTP - Low Temperature Platen heatable up to 300°C
• NM-MTP - Mid Temperature Platen heatable up to 500°C
• NM-HTP - High Temperature Platen heatable up to 700°C