• NANO-MASTER(那诺-马斯特)Platens样品台,又称为基板或加热板,是真空镀膜设备中常用到关键部件。因此样品台可以整合到RIE刻蚀、ICP刻蚀、PECVD、ALD等刻蚀和沉积设备中,给晶圆等样片进行均匀加热和冷却处理,为微纳米薄膜工艺提供精确的温度环境。
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