NANO-MASTER（那诺-马斯特）Platens样品台，又称为基板或加热板，是真空镀膜设备中常用到关键部件。因此样品台可以整合到RIE刻蚀、ICP刻蚀、PECVD、ALD等刻蚀和沉积设备中，给晶圆等样片进行均匀加热和冷却处理，为微纳米薄膜工艺提供精确的温度环境。