技术文章/ article

您的位置:首页  -  技术文章
  • 2025-01-17

    反应离子刻蚀机是一种广泛应用于微电子领域的加工设备,特别是在半导体制造过程中,RIE被用来刻蚀薄膜、材料和多层结构。其主要功能是通过反应性气体在真空环境中引发电离、化学反应和物理刻蚀,从而精确地去除材料表面,形成所需的图形或结构。反应离子刻蚀机的主要组成部分:1.反应腔体:RIE的核心部分,真空腔体内的样品放置在特定位置,与气体反应并被刻蚀。2.气体源系统:提供反应性气体或刻蚀气体,通常包括氟化氢(HF)、氯化氢(Cl2)、氧气(O2)、氮气(N2)等。不同的气体组合会对不同...

  • 2024-12-24

    反应离子刻蚀机是一种广泛应用于半导体制造、微电子、微机电系统(MEMS)、光电子等领域的刻蚀技术。基本原理是利用等离子体中的化学反应和离子轰击相结合,选择性地去除材料表面的一层薄膜。反应离子刻蚀机的工作原理:1.等离子体的生成:RIE设备通过在低压环境下向气体中施加电场,使气体分子发生电离,形成等离子体。等离子体是由自由电子、离子、原子、分子和自由基等组成的。这些离子和自由基可以与待刻蚀的材料发生反应或进行物理刻蚀。2.刻蚀过程:在反应离子刻蚀中,气体分子被电离后会形成带正电...

  • 2024-11-23

    全自动磁控溅射系统(MagnetronSputteringSystem)是一种广泛应用于材料表面处理和薄膜沉积的设备,常用于电子、光学、半导体、太阳能、传感器、装饰等行业。溅射技术通过将高能离子轰击目标材料,使目标材料原子或分子溅射到基材表面,从而形成均匀的薄膜层。磁控溅射系统则在传统磁控溅射设备的基础上,结合了自动化控制技术,提升了生产效率、薄膜质量以及操作的便捷性。全自动磁控溅射系统的工作原理:1.等离子体的形成:在真空室内,电源提供高电压(一般为几百伏特)在靶材和基材之...

  • 2024-10-26

    ICP等离子刻蚀机的工作原理基于利用射频电源在反应室内产生高密度的等离子体,这些等离子体包含大量的活性粒子,如离子、电子、自由基等。在强电场的作用下,这些活性粒子与被加工的材料表面发生物理或化学反应,从而实现材料的去除。ICP等离子刻蚀机的技术特点:1.高密度等离子体源:采用感应耦合方式产生高密度等离子体,提高了刻蚀速率和均匀性。2.良好的各向异性:由于等离子体的方向性较强,ICP刻蚀机能够实现高各向异性的刻蚀,有利于深宽比大的微结构的制备。3.宽工艺窗口:ICP刻蚀机能够在...

  • 2024-10-10

    飞行时间二次离子质谱(TimeofFlightSecondaryIonMassSpectrometry,TOF-SIMS)是通过高能量的一次离子束轰击样品表面,使样品表面的原子或原子团吸收能量而从表面发生溅射产生二次粒子,这些带电粒子经过质量分析器后就可以得到关于样品表面信息的图谱。SIMS用于在超高真空条件下分析固体样品中元素、分子和同位素的分布和相对浓度,是zui灵敏的表面分析技术之一。SIMS可用于成像、光谱分析和深度剖面/三维分析。光谱分析模式可用于评估聚合物涂层的组...

  • 2024-09-25

    全自动磁控溅射系统是一种利用磁场控制电子运动轨迹,使电子与靶材发生碰撞并溅射出原子或分子,从而在基片上形成薄膜的设备。与传统的磁控溅射设备相比,在结构上增加了自动化控制系统,能够实现对整个溅射过程的精确控制和自动化操作。主要由真空室、磁控溅射源、基片加热器、真空测量与控制系统以及自动化控制系统等部分组成。其中,自动化控制系统是核心部分,它通过接收传感器的信号,实时监测溅射过程中的各项参数(如真空度、温度、电流等),并根据预设的程序自动调整各项参数,以保证薄膜的质量和一致性。广...

  • 2024-09-13

    二次离子质谱法是一种高效的分析技术,利用化合物的离子化过程及其质量分析,以确定待测化合物的分子量、分子式和结构特征。质谱仪作为该方法的重要组成部分,通过将离子的质量进行有效分离,并依据电荷与质量比率输出至检测器,在此被探测并转换为数字信号。简介在质谱分析中,有三种常见的质谱仪离子分析器可用于离子的分离。四极杆质谱仪飞行时间质谱仪磁扇形质量分析仪四极杆质谱仪直流偏压会使所有带电分子加速并远离中心线,其速度与它们的电荷与质量比成正比。当这些分子的轨迹偏离过大时,它们将撞击金属棒或...

  • 2024-08-29

    TOF-SIMS(TimeofFlightSecondaryIonMassSpectrometry)飞行时间二次离子质谱仪的基本组件包括一次离子束,和用于样品深度剖析的离子束。主离子束被脉冲化以供飞行时间质谱仪进行分析使用。铋基液态金属离子枪(LMIGs)是商业ToF-SIMS中常用的离子源。与金等其他LMIG源相比,铋基离子源可以在较低的温度下工作,并能产生用于分析的离子簇(例如Bi3+)。这些离子束可以紧密聚焦,以实现高空间分辨率(亚表面分析可通过在双束模式操作来实现,包...

共 99 条记录,当前 1 / 13 页  首页  上一页  下一页  末页  跳转到第页 
版权所有©2025 那诺中国有限公司 All Rights Reserved   备案号:   sitemap.xml   技术支持:化工仪器网   管理登陆