Plasma Source等离子体源
离子源类型 | 特征 | 应用 | 选项 |
Plasma Source等离子体源1: NANO-MASTER 淋浴头等离子体源SH-1000 |
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2: 空心阴极13.56 MHz射频等离子体源
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3: SLAN(SLot ANtenna)2.45 GHz微波等离子体源
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4: 电感耦合等离子体源ICP-P 200(13.56MHz)
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