Plasma Source等离子体源_等离子体源系列

产品名称：Plasma Source等离子体源

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产品特点：NANO-MASTER （那诺-马斯特）可根据客户需求，提供合适的Plasma Source等离子体源，可以是空心阴极等离子源，也可以是感应耦合等离子源。等离子源可应用于离子辅助镀膜、等离子聚合、等离子清洁、等离子刻蚀、表面改性以及其他材料科学的研究等等。

Plasma Source等离子体源的详细资料：

Plasma Source等离子体源

离子源类型	特征	应用	选项
Plasma Source等离子体源1: NANO-MASTER 淋浴头等离子体源SH-1000	射频淋浴头等离子体源气体通过射频板二级板将其他气体引入等离子体水冷却至大600瓦可在0.02托至8托之间操作 8英寸有效区域 ISO 250法兰
2: 空心阴极13.56 MHz射频等离子体源	支持扩展功率和气压范围操作高浓度高活性高均匀性等离子体（1011 cm^-3）兼容化学反应和非化学反应气体等幅波和脉冲电源低污染	等离子增强化学气相沉积等离子聚合等离子清洁等离子刻蚀表面改性	600mm线性等离子源 900mm线性等离子源
3: SLAN（SLot ANtenna）2.45 GHz微波等离子体源	高浓度等离子体压力范围在10^-5毫巴到大气压兼容化学反应和非化学反应气体低污染电子回旋共振(ECR)或非电子回旋共振(non-ECR)操作等幅波和脉冲电源	等离子增强化学气相沉积等离子聚合等离子清洁等离子刻蚀表面改性材料科学	直径4厘米直径16厘米直径67厘米
4: 电感耦合等离子体源ICP-P 200（13.56MHz）	200毫米直径的平面线圈扩展功率范围在3-1200瓦低能量扩散高浓度高活性等离子体低污染等幅波和脉冲电源	等离子增强化学气相沉积等离子聚合等离子清洁等离子刻蚀表面改性

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