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AL18微波等离子去胶清洗机

AL18微波等离子去胶清洗机:AL18等离子系统适用于小批量生产和研发的*设备。并且,此系统可以满足360度的芯片封装需要。AL18系统是一款创新型的通用设备,可选配旋转转盘,及ECR(电子回旋共振)装置。

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  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2023-11-13
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产品详情

微波等离子清洗去胶

AL18微波等离子去胶清洗机概述:AL18等离子系统适用于小批量生产和研发的*设备。并且,此系统可以满足360度的芯片封装需要。AL18系统是一款创新型的通用设备,可选配旋转转盘,及ECR(电子回旋共振)装置。

AL18微波等离子去胶清洗机技术参数:

  • 腔体:铝
  • 容积:18公升
  • 尺寸:宽度250毫米×深度290毫米×高度250毫米
  • 腔室门:带观察窗口的铰链式门
  • 微波源:2.45GHz,可调50-600W
  • 气体进气:1路数字显示的质量流量器控制
  • 真空计: Pirani,1-1000Pa
  • 真空系统:DN 25 ISO-KF
  • 真空阀:电动气动阀

系统控制:

  • PC, Windows, RS 232, USB, Ethernet (也适用于远程控制)
  • 7”触摸屏、图形用户界面
  • Windows Office兼容
  • 存储处理数据和错误信息,处理数据输出
  • 工艺参数图形曲线的 监测
  • 自动或手动操作

选配:

  • 真空泵 : 双级真空泵,如,抽吸能力大40m3/h
  • 气路:额外的数字显示质量流量控制器
  • 旋转台:铝,直径200mm,速度可调
  • ECR(电子回旋共振):铝、支架配置永磁体
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