微波等离子清洗去胶

AL18微波等离子去胶清洗机概述：AL18等离子系统适用于小批量生产和研发的*设备。并且，此系统可以满足360度的芯片封装需要。AL18系统是一款创新型的通用设备，可选配旋转转盘，及ECR（电子回旋共振）装置。

AL18微波等离子去胶清洗机技术参数：

• 腔体:铝
• 容积:18公升
• 尺寸:宽度250毫米×深度290毫米×高度250毫米
• 腔室门:带观察窗口的铰链式门
• 微波源：2.45GHz，可调50-600W
• 气体进气:1路数字显示的质量流量器控制
• 真空计: Pirani,1-1000Pa
• 真空系统：DN 25 ISO-KF
• 真空阀：电动气动阀

系统控制：

• PC, Windows, RS 232, USB, Ethernet (也适用于远程控制)
• 7”触摸屏、图形用户界面
• Windows Office兼容
• 存储处理数据和错误信息，处理数据输出
• 工艺参数图形曲线的 监测
• 自动或手动操作

选配：

• 真空泵 ： 双级真空泵，如，抽吸能力大40m3/h
• 气路：额外的数字显示质量流量控制器
• 旋转台：铝，直径200mm,速度可调
• ECR(电子回旋共振)：铝、支架配置永磁体