• 进口微波去胶机*款适用于远程控制的设备
    点击次数:1362 发布时间:2015-10-28
      进口微波去胶机是石英腔的微波等离子系统,可以安装到超净间墙上。该系列的微波等离子系统可以用于批处理,也可以作为单片处理,系统为计算机全自动控制的系统。典型工艺包含:大剂量离子注入后的光刻胶去除;干法刻蚀工艺的前处理或后处理;MEMS制造中的牺牲层去除。
      
    进口微波去胶机系统控制:
      PC, Windows, RS 232, USB, Ethernet (也适用于远程控制)
      10.4”触摸屏、图形用户界面
      Windows Office兼容
      存储处理数据和错误信息,处理数据输出
      工艺参数图形曲线的 监测
      自动或手动操作
      
    进口微波去胶机工艺参数:

      材质:石英玻璃
      容积:21公升
      腔体尺寸:直径240mm,深度460mm
      腔体后部:铝
      腔门:铝质材料制作,抽拉式支撑架跟前门相连,便于手动放片;
      气体分布:前门扩散
      观察视窗:防紫外及微波
      支撑架:铝质材料,
      真空连接:DN40 ISO-KF
      压力控制:Pirani,1-100Pa
      真空泵:推荐35m3/h
      真空阀:电子气动阀,DN40 ISO-KF
      真空密封:硅树脂
      气体供应:1路数字显示的质量流量器控制
      气体通道:3路数字MFC,装有电磁阀,1000/500/200sccm(N2校准),1/4" Swagelok接头
      卸压:电磁阀,1/4" Swagelok接头
      功率:2.45GHz,50-1200W连续可调
      耦合:微波天线,铝质谐振器,腔体内无电极
      
    进口微波去胶机选配:
      真空泵 : 双级真空泵,如,抽吸能力大40m3/h
      气路:额外的数字显示质量流量控制器
      旋转台:铝,直径200mm,速度可调
      ECR(电子回旋共振):铝、支架配置永磁体

    进口微波去胶机
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