进口微波去胶机*款适用于远程控制的设备
点击次数：2717 更新时间：2015-10-28
进口微波去胶机是石英腔的微波等离子系统，可以安装到超净间墙上。该系列的微波等离子系统可以用于批处理，也可以作为单片处理，系统为计算机全自动控制的系统。典型工艺包含：大剂量离子注入后的光刻胶去除；干法刻蚀工艺的前处理或后处理；MEMS制造中的牺牲层去除。
进口微波去胶机系统控制：
PC, Windows, RS 232, USB, Ethernet (也适用于远程控制)
10.4”触摸屏、图形用户界面
Windows Office兼容
存储处理数据和错误信息，处理数据输出
工艺参数图形曲线的 监测
自动或手动操作
进口微波去胶机工艺参数：
材质：石英玻璃
容积：21公升
腔体尺寸：直径240mm，深度460mm
腔体后部：铝
腔门：铝质材料制作，抽拉式支撑架跟前门相连，便于手动放片；
气体分布：前门扩散
观察视窗：防紫外及微波
支撑架：铝质材料，
真空连接：DN40 ISO-KF
压力控制：Pirani，1-100Pa
真空泵：推荐35m3/h
真空阀：电子气动阀，DN40 ISO-KF
真空密封：硅树脂
气体供应：1路数字显示的质量流量器控制
气体通道：3路数字MFC，装有电磁阀，1000/500/200sccm（N2校准），1/4" Swagelok接头
卸压：电磁阀，1/4" Swagelok接头
功率：2.45GHz，50-1200W连续可调
耦合：微波天线，铝质谐振器，腔体内无电极
进口微波去胶机选配：
真空泵 ： 双级真空泵，如，抽吸能力大40m3/h
气路：额外的数字显示质量流量控制器
旋转台：铝，直径200mm,速度可调
ECR(电子回旋共振)：铝、支架配置永磁体
