进口微波去胶机*款适用于远程控制的设备

更新时间：2015-10-28

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　　进口微波去胶机是石英腔的微波等离子系统，可以安装到超净间墙上。该系列的微波等离子系统可以用于批处理，也可以作为单片处理，系统为计算机全自动控制的系统。典型工艺包含：大剂量离子注入后的光刻胶去除；干法刻蚀工艺的前处理或后处理；MEMS制造中的牺牲层去除。
　　
进口微波去胶机系统控制：
　　PC, Windows, RS 232, USB, Ethernet (也适用于远程控制)
　　10.4”触摸屏、图形用户界面
　　Windows Office兼容
　　存储处理数据和错误信息，处理数据输出
　　工艺参数图形曲线的监测
　　自动或手动操作
　　
进口微波去胶机工艺参数：
　　材质：石英玻璃
　　容积：21公升
　　腔体尺寸：直径240mm，深度460mm
　　腔体后部：铝
　　腔门：铝质材料制作，抽拉式支撑架跟前门相连，便于手动放片；
　　气体分布：前门扩散
　　观察视窗：防紫外及微波
　　支撑架：铝质材料，
　　真空连接：DN40 ISO-KF
　　压力控制：Pirani，1-100Pa
　　真空泵：推荐35m3/h
　　真空阀：电子气动阀，DN40 ISO-KF
　　真空密封：硅树脂
　　气体供应：1路数字显示的质量流量器控制
　　气体通道：3路数字MFC，装有电磁阀，1000/500/200sccm（N2校准），1/4" Swagelok接头
　　卸压：电磁阀，1/4" Swagelok接头
　　功率：2.45GHz，50-1200W连续可调
　　耦合：微波天线，铝质谐振器，腔体内无电极
　　
进口微波去胶机选配：
　　真空泵：双级真空泵，如，抽吸能力大40m3/h
　　气路：额外的数字显示质量流量控制器
　　旋转台：铝，直径200mm,速度可调
　　ECR(电子回旋共振)：铝、支架配置永磁体

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