• 兆声清洗机具备抛动清洗功能,保证清洗均匀

    点击次数:59 发布时间:2022-08-22

      兆声清洗机是一款带有小占地面积的理想设备,并且很容易安装在空间有限的超净间中。该系列设备都具有出众的清洗能力,并可用于非常广泛的基片。提供了可控的化学试剂滴胶能力,这使得颗粒从基片表面的去除能力得以进一步加强。SWC和LSC具备对点试剂滴胶系统,可以zui大程度节省化学试剂的用量的。滴胶系统支持可编程的化学试剂混合能力,提供了可控的化学试剂在整个基片上的分布。
      兆声清洗机具有以下特点:
      1、械手或多机械手组合,实现工位工艺要求。
      2、PLC全程序控制与触摸屏操作界面,操作便利。
      3、自动上下料台,准确上卸工件。
      4、净化烘干槽,烘干前处理技术,工作干燥无水渍。
      5、全封闭外壳与抽风系统,确保良好工作环境。
      6、具备抛动清洗功能,保证清洗均匀。
      7、全封闭清洗均匀。
      8、全封闭外壳与抽风系统,确保良好工作环境。
      兆声清洗机不仅保留了超声波清洗的优点,而且克服了超声波清洗的缺点。兆声无损清洗机的工作原理是利用高能(850kHz)频率效应和化学清洗剂的化学反应对硅片进行清洗。在清洗过程中,换能器发出的高能声波波长为1m,频率为0.8MHZ。在声波的驱动下,溶液的分子运动得更快。瞬时速度可达30cm/s。因此,无法形成超声清洗等气泡。相反,只能用高速的流体波不断地冲击晶圆片表面,迫使附着在晶圆片表面的微小污染物颗粒被去除并进入清洗溶液中。
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