硅片清洗机是利用超声波清洗技术，在清洗过程中超声波频率在合理的范围内往复扫动，带动清洗液形成细微回流，使工件污垢在被超声剥离的同时迅速带离工件表面，提高清洗效率。
一、硅片清洗机的工作原理是什么
1、真空脱气，有效去除液体中气体，且运用抛动功能，增强超声对工件表面油污和污垢的清洗能力，缩短清洗时间。
2、洗篮转动机构，重叠不可分拆的零件或形状复杂的零件，也可做到均匀完整的清洗。
3、减压真空系统，能吸出盲孔、缝隙及叠加零件之间的空气，使超声波在减压的状态下产生惊人的清洗效果。
4、真空蒸汽清洗+真空干燥系统，利用蒸汽洗净做养护，实现清洗效果。
5、蒸汽清洗、干燥及清洗液加热的全过程在减压真空中进行，更有效地确保了安全性。
6、防爆配件及简洁加热系统，进一步提高安全度。
二、硅片清洗机的操作说明
1、欲清洗工件放入料框内专用固定夹内，由人工将料框放上入料口，等工位机械手自动将料框送入清洗机本体，上下提升机构依照PLC程序将料框搬送到相应高度位置。
2、完成对工件的清洗、喷淋、漂洗、慢提拉脱水和热风干燥后、送至清洗机出口，运送到卸料台出料，等工位机械手由气缸横向驱动，直线滑轨导向。
3、上下提升由马达驱动，直线导轴导向，慢提拉提升机构由变频马达驱动，直线滑块导向，上下料由上下提升机构独立完成，采用触摸屏操作系统，有手动和自动切换开关及有关操作按钮，能对整个运行过程实行控制。
