• 硅片清洗机的工作原理和操作说明

    点击次数:28 发布时间:2022-07-25

     
      硅片清洗机是利用超声波清洗技术,在清洗过程中超声波频率在合理的范围内往复扫动,带动清洗液形成细微回流,使工件污垢在被超声剥离的同时迅速带离工件表面,提高清洗效率。
     
      一、硅片清洗机的工作原理是什么
     
      1、真空脱气,有效去除液体中气体,且运用抛动功能,增强超声对工件表面油污和污垢的清洗能力,缩短清洗时间。
     
      2、洗篮转动机构,重叠不可分拆的零件或形状复杂的零件,也可做到均匀完整的清洗。
     
      3、减压真空系统,能吸出盲孔、缝隙及叠加零件之间的空气,使超声波在减压的状态下产生惊人的清洗效果。
     
      4、真空蒸汽清洗+真空干燥系统,利用蒸汽洗净做养护,实现清洗效果。
     
      5、蒸汽清洗、干燥及清洗液加热的全过程在减压真空中进行,更有效地确保了安全性。
     
      6、防爆配件及简洁加热系统,进一步提高安全度。
     
      二、硅片清洗机的操作说明
     
      1、欲清洗工件放入料框内专用固定夹内,由人工将料框放上入料口,等工位机械手自动将料框送入清洗机本体,上下提升机构依照PLC程序将料框搬送到相应高度位置。
     
      2、完成对工件的清洗、喷淋、漂洗、慢提拉脱水和热风干燥后、送至清洗机出口,运送到卸料台出料,等工位机械手由气缸横向驱动,直线滑轨导向。
     
      3、上下提升由马达驱动,直线导轴导向,慢提拉提升机构由变频马达驱动,直线滑块导向,上下料由上下提升机构独立完成,采用触摸屏操作系统,有手动和自动切换开关及有关操作按钮,能对整个运行过程实行控制。
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