• 深圳先进院磁控溅射顺利安装实施
    点击次数:1153 发布时间:2017-08-17

    八月初,深圳先进院磁控溅射NSC-3500安装条件已具备,NANO-MASTER的工程师们为深圳先进院安装调试实施。

    本套NSC-3500是带机械手臂的全自动控制型号,标准配置带有水冷或者加热(zui高可加热到700度)功能,zui大到6"旋转平台,zui大可支持到3个偏轴平面磁控管。系统配套涡轮分子泵,极限真空可达10-7 Torr,15分钟内可以达到10-6 Torr的真空。通过调整磁控管与基片之间的距离,可以获得想要的均匀度和沉积速度。

    NSC-3500 带有14"立方形不锈钢腔体,32"的磁控管,DC直流和RF射频电源。 在选配方面,350 l/s涡轮分子泵,额外的磁控管和衬底加热功能。

     

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