• 配备大观察窗的进口晶圆清洗机取放晶圆更加安全且方便
    点击次数:194 发布时间:2021-06-11

        进口晶圆清洗机采用Nano-Master进口兆声单晶圆及掩模版清洗机提供高可重复性、高均匀性及兆声清洗。它可以在一个工艺步骤中包含了的无损兆声清洗、化学试剂清洗、刷子清洗以及干燥功能。

        进口晶圆清洗机设备特点:

        ▲可更换清洗吸盘,可使用4-12英寸的清洗吸盘;

        ▲操作程序可按作业需求编写调整,设备运行流程、清洗时间及各项参数可自行编制;

        ▲设备运行状态及参数在线实时监控,自动门配有安全光栅,保证操作安全;

        ▲采用真空吸附式清洗盘,晶元夹具的取放更安全、方便;

        ▲摆臂式清洗,清洗范围可编制,适用范围广、无清洗盲区、无二次污染,清洗效果更佳;

        ▲设备清洗室全密封,且配有自动挡水圈,有效防止二次污染;

        ▲高速离心设计,转速可调节100-2000R/Min;

        ▲配备独特的静电消除装置,辅助清洗达到最佳效果,可选择使用氮气;

        ▲设备配有大面积透明观察窗;

        ▲缩减宽度的省空间设计,结构紧凑,占用空间小;

        ▲整机镜面不锈钢机身,能耐酸碱,对工作环境无污染,镜面机壳易于保养。
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