进口晶圆清洗机采用Nano-Master进口兆声单晶圆及掩模版清洗机提供高可重复性、高均匀性及兆声清洗。它可以在一个工艺步骤中包含了的无损兆声清洗、化学试剂清洗、刷子清洗以及干燥功能。
进口晶圆清洗机设备特点：
▲可更换清洗吸盘，可使用4-12英寸的清洗吸盘；
▲操作程序可按作业需求编写调整，设备运行流程、清洗时间及各项参数可自行编制；
▲设备运行状态及参数在线实时监控，自动门配有安全光栅，保证操作安全；
▲采用真空吸附式清洗盘，晶元夹具的取放更安全、方便；
▲摆臂式清洗，清洗范围可编制，适用范围广、无清洗盲区、无二次污染，清洗效果更佳；
▲设备清洗室全密封，且配有自动挡水圈，有效防止二次污染；
▲高速离心设计，转速可调节100-2000R/Min；
▲配备*的静电消除装置，辅助清洗达到最佳效果，可选择使用氮气；
▲设备配有大面积透明观察窗；
▲缩减宽度的省空间设计，结构紧凑，占用空间小；
▲整机镜面不锈钢机身，能耐酸碱，对工作环境无污染，镜面机壳易于保养。
