• 这些光学镀膜系统的清洗和保养知识你都知道吗?快来学习
    点击次数:46 发布时间:2021-04-15

        光学镀膜系统的清洗:

        设备使用一个星期后(三班),因镀料除镀在工件表面外,亦因无定向性而工作室内的衬板上镀料,并越镀越厚,该层膜厚因组织、繞疏松,吸收大量气体而造成真空镀膜设备抽气越来越慢。此时,应对工作室及衬板进行清洗,如不必要拆落来的部件,可用砂纸打磨干净,衬板可浸泡在水溶液里,水的比例看需要浸泡时间长短以及不伤衬板为原则。

        注:衬板必须烘干水份才能安装,烘干前,衬板的水分尽量抹干,工作架等部件用砂纸清洁后,需要把真空室的所有灰尘清理干净,此可用吸尘器吸干净灰尘。最后安装衬板时,真空室及衬板都需要用酒精控拭干净。

        因使用电子枪及离子源辅助镀膜,可能会造成清洁困难,可使用喷沙等方法来清洁。

        光学镀膜系统的保养:

        (一)定期更换扩散泵油

        扩散泵油使用一段时间,约二个月(两班),因在长期高温环境,虽然较高真空时才启动扩散泵,但仍残留氧气及其它成份使之与扩散泵油起反应,扩散泵油在高温下也可能产生裂解,使其品质下降,而延长抽气时间。在我们认为时间延长得太多时,应予更换。

        (二)真空泵

        机械泵油、维持泵油在使用二个月,油质会发生变化。因油可能抽入水分、杂质及其它原因,而使用油粘性变差,真空下降,故需要更换。如为新设备,在使用头半个月即应更换,因在磨合期,油含磨合铁粉较多,会加剧磨损。

        (三)清洁卫生

        定期将设备及其周围环境卫生搞好,常保持设备内外清洁,将设备周围环境整理有条,有一个好的工作环境,以保安全。
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