• 直击渭南师范学院原子层沉积安装现场
    点击次数:88 发布时间:2020-07-24

    上周NMC专业的售后服务工程师至渭南师范学院完成了原子层沉积系统NLD-3000的安装调试,并顺利验收!

    NLD-3000是一款PC全自动工艺控制的台式ALD系统,包含完整的安全联锁功能,能够沉积氧化物、氮化物、硫化物、氟化物、金属等高品质的薄膜,达到光学级别的表面粗糙度。阳极氧化铝腔体采用内外双层上下结构设计,加热腔壁和气动升降顶盖,一键实现顶盖开启/闭合。系统集成快速脉冲传输阀和多孔大面积加热的ALD过滤器,可吸收多余前驱体。工艺程序、温度设定值、气体流量、抽真空卸真空工序、以及对传输管路的吹扫均通过LabView软件全自动控制。

     以下为现场安装图:整机图、腔体及ICP离子源、软件控制界面。

    售后工程师首先进行安装区域准备工作,确保有足够的空间放置设备主体和配套设备(如空压机、机械泵、冷水机等),之后进行氮气、压缩空气、冷却水、前级泵等管路连接,确保电源和线路连接正确后,安装前驱体瓶,最后开机调试,并对在场师生进行讲解培训,指导客户自主创建工艺程序,进行打样测试,并顺利完成验收!

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