• 中标喜讯|那诺中国投标竞得上海交通大学掩模板兆声清洗机采购项目
    点击次数:451 发布时间:2019-08-26

    近日,那诺中国在“上海交通大学电子信息与电气工程学院掩模板兆声清洗机采购项目”的竞标中,顺利中标,这无疑是对NANO-MASTER综合实力的又一次肯定!

    本套设备是NANO-MASTER, INC. 开发的独立立柜式单晶圆/掩模版清洗机SWC-4000,可用于清洗晶圆片、光盘、光学元件、陶瓷基底,或其它类似的平底部件。可以达到去除污染物、残留物、或微尘颗粒等。系统的主要功能包含DI水的兆声清洗、多四路的化学试剂清洗,以及带异丙醇的高速甩干等。因此该系统对于单片清洗而言具有优异的基底清洗能力,并且整个工艺处理时间可以控制在4分钟内。

    SWC-4000把所有的清洗需要集成到一个紧凑的立柜中,旋转清洗单元(SWC)、兆声脉冲射流清洗器(PJC) 、和试剂容器以及所有的阀及传感器都全部包含到该系统。Labview可编程的触摸屏用户界面位用于控制旋涂仪的操作。在工序执行阶段,产品的程序数、旋转速度、剩余时间等信息都先显示在用户界面的屏幕上。控制器会自动算出加速度或减速度并提供不同的速度时间梯度。SWC-4000可以存储多达25 套产品程序,每一套程序可以支持20个操作步骤,而在每一个步骤中可以设定以下参数:RPM转速(维持的转速)、RAMP加速梯度(多快时间达到那个速度)、Dwell运行时间(维持想要的速度的时间有多长)。

    SWC-4000使用真空托盘固定晶圆片,并能够在可控的时间周期内以的转速旋转,因而可以保证操作具有超高的可重复性及设置的灵活性。掩模版是通过机械托盘来固定的,操作具有高度的可重复性并可设置。托盘可以互换。

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