硅片清洗机不仅保留了超声波清洗的优点，而且克服了超声波清洗的缺点。兆声无损清洗机的工作原理是利用高能（850kHz）频率效应和化学清洗剂的化学反应对硅片进行清洗。在清洗过程中，换能器发出的高能声波波长为1 m，频率为0.8 MHZ。在声波的驱动下，溶液的分子运动得更快。瞬时速度可达30cm/s。因此，无法形成超声清洗等气泡。相反，硅片清洗机只能用高速的流体波不断地冲击晶圆片表面，迫使附着在晶圆片表面的微小污染物颗粒被去除并进入清洗溶液中。
硅片清洗机特点：
高能能有效地去除亚微米粒子。
声的产生与传统的超声空化不同，避免了对工件的损伤。
发电机配有液晶显示屏，可对运行状态进行数字化显示。
发电机配有锁相环频率自动跟踪系统，可与主计算机连接，外形设计精美。
安装方便，可与生产线配套使用。
硅片清洗机主要用于：
1. 液晶显示，手机镜头，光学设备摄像头镜头制造。
2. 汽车、摩托车制造。
3.电子、微电子、电子及电子元器件制造业。
4、五金、机械零部件行业。
5、航天、航天清洗精密零部件行业；。
6、手表、手表、珠宝——制造业。
7. 家电制造业。
8. 电镀。
硅片清洗机定期保养-每两个月一次
1. 定期清除油箱内的油垢将延长发动机的使用寿命和性能。燃料沉积会对燃油管道、燃油过滤器和化油器造成损坏。
2、当不使用高压清洗机时，配合凯彻泵保护套件保护您的高压清洗机。泵的保护套是专门为保护高压清洗机免受腐蚀、过早磨损、冻结等而设计的。润滑阀门和密封圈，防止它们粘在一起。
硅片清洗机电动类型：
1. 关闭晶圆清洁器；
2. 从泵上拆下高压软管和伺服喷嘴杆；
3.将阀门连接到泵的保护水箱上，打开阀门；
4. 启动并打开清洗机，将罐内所有物质吸进泵内；
5、关闭清洗机，现在高压清洗机可以直接储存。
发动机类型：
1. 关闭晶圆清洁器；
2. 从泵上拆下高压软管和伺服喷嘴杆；
3.将阀门连接到泵的保护水箱上，打开阀门；
4、点火时，拉动起动绳，将罐内所有物质放入泵内；
5、现在晶圆清洁器可以直接存储。
