• 微波等离子去胶机的工作原理及性能特点

    点击次数:32 更新时间:2024-03-25

      微波等离子去胶机是一种先进的半导体制造设备,用于去除晶圆表面的光刻胶。在半导体制造过程中,光刻是一种关键技术,通过它可以将电路图案转移到硅片上。光刻过程需要在硅片表面涂覆一层光敏材料,称为光刻胶。在光刻过程完成后,需要将未曝光的光刻胶去除,这一步骤称为去胶。传统的去胶方法包括湿化学清洗和等离子清洗,但这些方法可能会对硅片表面造成损伤或者处理效率较低。等离子去胶机利用微波激发的等离子体来去除光刻胶,具有高效、环保、对硅片表面无损伤等优点。
     

     

      微波等离子去胶机的工作原理是利用微波能量激发气体产生等离子体。在去胶过程中,首先将待处理的硅片放入真空腔体内,然后通入适当的气体(如氧气、氮气等)。当微波能量作用于气体时,气体分子被激发成等离子态,产生大量的高能粒子。这些高能粒子与光刻胶表面发生化学反应,将光刻胶分解成易挥发的小分子,从而实现去胶的目的。
      微波等离子去胶机的特点:
      1.高效:采用微波激发技术,能够在短时间内产生大量高能粒子,提高去胶效率。相比传统的湿化学清洗和等离子清洗方法,处理时间更短,效率更高。
      2.环保:在去胶过程中产生的废物主要是易挥发的小分子,可以通过排气系统直接排放,无需使用化学试剂,减少了对环境的污染。
      3.无损伤:在去胶过程中,高能粒子主要与光刻胶发生反应,对硅片表面无损伤。这有利于提高半导体器件的性能和产量。
      4.灵活性高:可以根据不同的工艺需求调整微波功率、气体种类和处理时间等参数,适应不同的光刻胶和硅片材质。
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