• 看完这篇文章才知道硅片清洗机的应用范围是如此的广泛

    点击次数:52 发布时间:2021-06-25


        硅片清洗机可以适用于易受损的带图案或无图案的基片,包含带保护膜的掩模版。为了在确保不损伤基片的情况下达到优化的清洗效果,兆声能量的密度必须保持在稍稍低于样片上任意位置上的损伤阈值。NANO-MASTER的技术确保了声波能量均匀分布到整个基片表面,通过分布能量的z大化支持z理想的清洗,同时保证在样片的损伤阈值范围内。

        硅片清洗机应用:

        带图案或不带图案的掩模版和晶圆片

        Ge,GaAs以及InP晶圆片清洗

        CMP处理后的晶圆片清洗

        晶圆框架上的切粒芯片清洗

        等离子刻蚀或光刻胶剥离后的清洗

        带保护膜的分划版清洗

        掩模版空白部位或接触部位清洗

        X射线及极紫外掩模版清洗

        光学镜头清洗

        ITO涂覆的显示面板清洗

        兆声辅助的剥离工

        硅片和蓝宝石片清洗

        带晶圆框架的芯片清洗

        FSI清洗

        硅片和蓝宝石片清洗

        带晶圆框架的芯片清洗

        显示平板,ITO涂层显示屏清洗

        带图案及无图案掩模版清洗

        带保护膜分划板的背面清洗

        薄膜结构胶粘剂清洗

        光刻胶涂覆/剥离和Piranha去胶

        背面多晶去除

        显影和其他刻蚀应用
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