• 进口光学镀膜机维护与保养

    点击次数:110 发布时间:2020-07-15

      进口光学镀膜机主要由真空镀膜机室、真空抽气机组及电柜(控制电柜、电子枪电柜)组成,其广泛应用于微电子、光学成膜、民用装饰、表面工程等领域。
     
      进口光学镀膜机工作原理是在高真空状态下、利用电子束对金属或非金属材料加热到适当的温度,材料受热后蒸发成蒸汽分子。它的平均自由程比蒸发源至被蒸发基片距离大,蒸发出来的蒸汽分子向四处直射,碰到基片就沉积在基片表面形成膜层。
     
      进口光学镀膜机维护与保养主要包换电子枪安装与维护、光路的检修与维护、设备的清洗与保养。
     
      1.定期更换扩散泵油
     
      扩散泵油使用一段时间,约二个月(两班),因在长期高温环境,虽然较高真空时才启动扩散泵,但仍残留氧气及其它成份使之与扩散泵油起反应,扩散泵油在高温下也可能产生裂解,使其品质下降,而延长抽气时间。在我们认为时间延长得太多时,应予更换。
     
      2.真空泵
     
      机械泵油、维持泵油在使用二个月,油质会发生变化。因油可能抽入水分、杂质及其它原因,而使用油粘性变差,真空下降,故需要更换。如为新设备,在使用头半个月即应更换,因在磨合期,油含磨合铁粉较多,会加剧磨损。
     
      3.清洁卫生
     
      定期将设备及其周围环境卫生搞好,常保持设备内外清洁,将设备周围环境整理有条,有一个好的工作环境,以保安全。
     
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