• RIE-PE刻蚀机基本资料分析概述

    点击次数:1060 发布时间:2017-01-10

      RIE-PE刻蚀机其原理是暴露在电子区域的气体形成等离子体,由此产生的电离气体和释放高能电子组成的气体,从而形成了等离子或离子,电离气体原子通过电场加速时,会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合材料或蚀刻表面。
      RIE-PE刻蚀机是在湿法腐蚀技术基础上发展起来的,属于纯化学性腐蚀。这种方法腐蚀均匀性好、损伤小,缺点是各向刻蚀同性,对于1μm以下的细线条线宽损失明显。所以,在等离子刻蚀的基础上改进反应结构和接电方式,出现了反应离子刻蚀。该方法加快了纵向的腐蚀速度,具有各向异性的腐蚀特点。
      RIE-PE刻蚀机的主要优势:
      1、超凡的印刷体字符打印效果
      2、高可靠性:无需消耗品以及经久考验的二氧化碳激光管技术
      3、无论对静止物品还是高速生产线上,喷码效果一样出色
      4、信息打印方向无限制
      5、可打印出各种类型的图形
      6、zui少量的维护工作以及对环境无碍
      RIE-PE刻蚀机的工作原理:
      RIE-PE刻蚀机是用离子轰击工件并把能量转换到工件表面,从表面移出一个或多个原子的一种加工方式。即从离子源把离子引入到真空室中,离子平行且被加速地照射到工件上,从工件表面移出原子。在理想情况下,一个离子从表面移出一个原子,而不干扰任何邻近的原子。
      离子刻蚀机由真空加工室、离子束发生器、离子引出和加速系统、离子中和器、束流检测档板、真空系统、供气及其控制系统、电源装置、计算机控制系统等主要部件组成。
      RIE-PE刻蚀机的主要性能特点:
      1、系统由计算机控制,通过触摸屏操作,参数设置灵活,可控性好;
      2、采用特别技术离子束产生器,能量可控,适用不同产品蚀刻、抛光、减薄等形式加工,产品加工均匀性好;
      3、独特的栅网设计,保证束流的均匀性和稳定性,产品加工一致性和重复性好;
      4、对材料无选择性,任何固体材料都可加工;
      5、工件加工角度可在0°~90°之间任意变化;
      6、6×10-6mbar无油超真空系统,保证系统在5×10-5~2×10-4 mbar的工作压力下稳定工作;
      7、工艺安全,无污染。系统操作维护简单,运行成本低。
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