技术文章/ article

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  • 2026-09-22

    IBE离子束刻蚀机是微纳加工领域的核心干法加工设备,以高能定向离子束轰击为基本原理,面向半导体、光电子、微机电系统、前沿科研等领域的研发、生产、质检环节,解决传统刻蚀工艺精度不足、损伤大、一致性差等问题,为高精度微纳结构制备、图形转移提供标准化、可控的工艺支撑,是支撑微纳器件制造的关键基础装备。IBE离子束刻蚀机的核心功能组成:1.离子束发射系统:作为设备的核心动力单元,通过气体电离、加速聚焦形成定向高能离子束流,可根据加工材料特性灵活调整束流属性,支持多种工作气体切换,适配...

  • 2026-09-09

    在半导体封装、电子元件制造、金属镀膜等行业,表面分析是质量控制的刚性需求。但目前市面上主流的商业宣传几乎都在推崇同一个方向——参数越高越好,预算越高越好。但“越高越好”对工业质控来说,未必是最理性的选择。这篇文章不站在任何品牌的立场,只探讨一个问题:不同场景下,SIMS设备选型的决策逻辑应该是什么?一、高-端设备好在哪?高-端ToF-SIMS(比如IONTOF)确实非常强-大——这一点没什么可争辩的。它的能力包括:·横向空间分辨率:能看到纳米级的细节·检出限ppb级:能测到十...

  • 2026-08-25

    二次离子质谱仪是一类基于离子溅射原理实现表面成分分析的先进质谱设备,凭借超高表面灵敏度、多组分并行检测能力,在材料科学、生物医药、微电子等领域发挥关键作用。二次离子质谱仪的基本原理与核心构成:1.离子溅射原理:仪器通过聚焦的高能原离子束轰击样品表面,使表层原子、分子及吸附物获得能量后溅射脱离样品,形成包含各类粒子信息的二次离子流,是少数能直接获取原子级表层信息的分析技术。2.核心模块组成:整套系统由离子发射、超高真空样品室、质量分选、信号采集四部分构成,离子发射模块生成能量可...

  • 2026-05-25

    全自动磁控溅射系统是一种先进的薄膜沉积设备,广泛应用于半导体制造、光伏产业、显示技术以及其他需要高质量薄膜材料的领域。该系统利用磁控溅射技术,通过控制离子轰击靶材表面,将靶材原子或分子溅射出来并沉积在基板上,形成所需的薄膜。全自动磁控溅射系统的主要部分组成:1.真空室:这是系统的核心部分,提供了一个高度真空的环境,以确保溅射过程的纯净和薄膜的质量。真空室的设计考虑到了装载和卸载基板、观察溅射过程以及维护的便利性。2.磁控溅射源:这是实现溅射过程的关键部件。它包括靶材、磁铁以及...

  • 2026-04-24

    全自动磁控溅射系统是现代材料科学和工程领域中一种重要的薄膜沉积技术设备,广泛应用于半导体、光电子、太阳能电池、硬盘、显示器以及其他高科技产业。其利用物理气相沉积(PVD)原理,以高效率和高质量的方式,将金属、合金或绝缘材料等成分沉积到基材表面,形成均匀且致密的薄膜。随着科技的进步,全自动化的磁控溅射系统应运而生,不仅提高了生产效率,还实现了操作的简便性和安全性。全自动磁控溅射系统的工作原理:1.靶材:通常采用金属或合金材料制成,作为溅射源。2.气体介质:通常使用惰性气体(如氩...

  • 2026-04-21

    在薄膜制备领域,多数技术依赖精确的外部控制以实现所需的均匀性。与之不同,某些分子可利用分子内作用力,在特定表面自发形成高度有序的薄膜——即自组装单分子层(Self-AssembledMonolayers,SAMs)。SAMs为低成本、大规模制备表面功能化薄膜提供了可行路径,但对其结构、分子取向及覆盖密度的表征一直存在技术挑战。二次离子质谱(SIMS)是分析SAMs的理想工具,但传统SIMS设备复杂、成本高昂,难以用于常规分析。SAI公司开发的MiniSIMS-ToF台式二次离...

  • 2026-04-13

    在涂装、粘接、电子封装等工业场景中,表面清洁度直接影响工艺质量。尤其是涂装或粘接前,基材表面的有机污染物若未被及时发现,将导致涂层附着力下降、界面失效等问题。传统元素分析技术(如EDX、XPS)可提供元素组成信息,但难以区分结构相似的有机污染物。二次离子质谱(SIMS)凭借其高表面灵敏度及分子碎片信息,为有机污染物的精准识别提供了有效手段。本文介绍SAI公司MiniSIMS-ToF台式二次离子质谱仪在区分硅氧烷(硅油)同系物中的应用。通过三个典型样品的静态SIMS谱图,展示该...

  • 2026-04-01

    在涂装、粘接、电子封装等制造工艺中,表面清洁度是决定产品质量的关键因素之一。微量污染物,尤其是以薄膜形态存在的有机残留,可能仅为一个分子层厚度,肉眼完-全不可见,却足以导致涂层附着力下降、粘接失效或接触不良。这类问题往往在后续工序或产品使用初期才暴露,造成较大的返工成本和质量风险。传统的元素分析技术(如EDX、XPS)可提供表面元素组成信息,但对于有机污染物的分子结构识别能力有限。二次离子质谱(SIMS)凭借其极浅的采样深度(本文介绍SAI公司MiniSIMS台式二次离子质谱...

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