• 微波等离子化学气相沉积系统是一种高效、精密控制的制备薄膜技术
    点击次数:319 更新时间:2023-05-28
      微波等离子化学气相沉积(MPCVD)系统是一种用于制备薄膜的先进技术,该技术利用了微波辐射和等离子体化学反应的优势。该系统包括一个微波发生器、一个反应室、一个气体供应系统和一个真空泵组成。
      

     

      首先,微波发生器产生高频电磁场,并将能量输送到反应室中,使得气体分子与微波电场产生相互作用,激发其内部电子从基态跃迁至激发态。这些激发态分子会与其他分子发生碰撞,从而形成等离子体。
      
      反应室由不锈钢材料制成,背面有水冷却装置,以控制反应室温度。室内设置有样品架,样品架上放置待处理材料。在反应室底部设置防止污染的保护层,同时还可以隔离反应室与真空泵之间的连接口。
      
      气体供应系统通常由多个进气口组成,每个进气口都有单独的流量计、阀门和压力计。通过精确调节不同气体输入口的流量和压力,可以控制反应室内气体的配比和总压力。
      
      真空泵用于排出反应室中的空气和残余气体,以维持反应室内的低压状态。通常使用机械泵和分子泵的组合,前者能够快速排出大量气体,后者则能更好地排出高真空下的残余气体。
      
      在MPCVD系统中,合适的反应气体和气压条件对于薄膜的质量和性能至关重要。常用的反应气体包括甲烷、乙烯、氧气、氮气等,而气压通常在1-10Torr的范围内调节。
      
      总之,微波等离子化学气相沉积系统是一种高效、精密控制的制备薄膜技术。通过控制反应气体的流量、压力和功率等参数,可以在样品表面沉积出具有高纯度、均匀性和可重复性的薄膜,广泛应用于电子器件、光学器件、传感器等领域。
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