• 等离子去胶机操作及配合人员防护
    点击次数:408 发布时间:2019-06-24
       等离子去胶机是石英腔的微波等离子系统,可以安装到超净间墙上。该系列的微波等离子系统可以用于批处理,也可以作为单片处理,系统为计算机全自动控制的系统。典型工艺包含:大剂量离子注入后的光刻胶去除;干法刻蚀工艺的前处理或后处理;MEMS制造中的牺牲层去除。
     
      去胶工艺是微加工实验中一个非常重要的过程。在电子束曝光、紫外曝光等微纳米加工工艺之后,都需要对光刻胶进行去除或打底膜处理。光刻胶去除的是否干净彻底、对样片是否有损伤等问题将直接影响到后续工艺的顺利完成。德国ALPHA PLAMSA拥有多年的去胶经验,致力于给您提供专业的微波等离子体去胶机系统,并提供专业的技术支持服务。
     
      等离子去胶机操作规程:
     
      1、自动切割小车应经空车运转,并选定切割速度;
     
      2、使用钍、钨电极应符合JGJ33-2001第12.7.8条规定;
     
      3、高频发生器应设有屏蔽护罩,用高频引弧后,应立即切断高频电路;
     
      4、应检查并确认电源、气源、水源无漏电、漏气、漏水,接地或接零安全可靠;
     
      5、操作人员应站在上风处操作。可从工作台下部抽风,并宜缩小操作台上的敞开面积;
     
      6、小车、工件应放在适当位置,并应使工件和切割电路正极接通,切割工作面下应设有溶渣坑;
     
      7、等离子去胶机应根据工件材质、种类和厚度选定喷嘴孔径,调整切割电源、气体流量和电极的内缩量;
     
      8、当空载电压过高时,应检查电器接地、接零和割炬手把绝缘情况,应将工作台与地面绝缘,或在电气控制系统安装空载断路断电器;
     
      9、微波等离子去胶机操作人员必须戴好防护面罩、电焊手套、帽子、滤膜防尘口罩和隔音耳罩。不戴防护镜的人员严禁直接观察等离子弧,裸露的皮肤严禁接近等离子弧。
     
      等离子去胶机操作及配合人员防护:
     
      1、作业后,应切断电源,关闭气源和水源;
     
      2、高空切割时,必须系好安全带,切接切割周围和下方应采取防火措施,并应有专人监护;
     
      3、现场使用的等离子切割机机,应设有防雨、防潮、防晒的机棚,并应装设相应的消防器材;
     
      4、雨天不得在露天焊割。在潮湿地带作业时,操作人员应站在铺有绝缘物品的地方,并应穿绝缘鞋;
     
      5、对承压状态的压力容器及管道、带电设备、承载结构的受力部位和装有易燃、易爆物品的容器严禁进行切割;
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