技术文章/ article

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  • 2023-09-22

    微波等离子去胶机是一种先进的设备,用于去除材料表面的胶粘剂。它利用微波能量和等离子体技术,能够高效、快速地去除各种胶粘剂,广泛应用于制造业和研发领域。工作原理基于微波能量和等离子体的相互作用。简单来说,当微波能量通过微波发生器传输到处理室时,胶粘剂会被加热并分解成气体状态。随后,等离子体技术将产生的气体进行电离,形成高能离子束。这些离子束能够击打在材料表面上的胶粘剂上,使其迅速分解和脱落。最终,经过处理的材料表面变得干净无胶粘物质。微波等离子去胶机的工作方式:1.设置处理参数...

  • 2023-08-25

    光学镀膜设备是一种用于在光学元件表面制备薄膜的设备。它在各种光学应用中起着至关重要的作用,包括反射减弱、抗反射涂层、滤光器和分束器等。光学镀膜设备主要由以下组成部分构成:真空腔体、源材料、光学衬底、镀膜材料、辅助设备以及控制系统。1.真空腔体是核心部分。它提供了一个高真空环境,以避免源材料和镀膜材料的污染,并确保薄膜的均匀性和质量。真空腔体通常采用具有良好密封性能的金属或玻璃材料制成,以确保适当的真空度。2.源材料是用于生成薄膜的原始材料。它可以是金属、氧化物、氟化物等,根据...

  • 2023-07-20

    微波等离子清洗机是一种先进的清洗设备,利用微波和等离子技术来高效而清洁物体表面。它在许多领域中都有广泛的应用,包括电子制造、医疗器械、航空航天等行业。工作原理是将被清洗的物体放置在一个封闭的容器内,并向容器内注入特定气体(如氢、氩等)。然后,通过微波加热产生高温和高压条件,使气体分解成等离子体。这些等离子体具有高能量和强氧化性,能够有效地去除物体表面的污垢和污染物。微波等离子清洗机具有以下几个显著的优点:1.高效清洗:微波加热可以迅速提高物体表面的温度,加速化学反应速率,从而...

  • 2023-06-20

    掩模板清洗机是一种用于半导体制造过程中的设备,主要用于清洗掩膜板以保证芯片生产的质量。掩膜板是半导体生产过程中的一个关键工具,它用来将电路图案转移到硅晶圆上。在使用掩膜板之前必须对其进行清洗,以确保其表面没有污垢或杂质,这可以防止电路图案被污染或污损。基本原理是利用多种化学物质和机械力来清洗掩膜板。它由多个步骤组成,包括预处理、清洁、漂洗和干燥等。首先,在预处理步骤中,掩膜板被暴露在氧化剂中以去除有机污染物。然后,掩膜板被移动到清洁室,在清洁室中,掩膜板被浸泡在一种酸性或碱性...

  • 2023-05-23

    热真空环境模拟试验设备是一种用于模拟真空环境下物体受热的设备,通常用于航空航天、半导体制造、材料科学和工程等领域。该设备可以通过控制温度、压力和气体组成等参数来模拟各种真空环境下的热应力。该设备主要由真空室、加热系统、冷却系统、真空系统、温度控制系统、数据采集和控制系统等组成。真空室是核心部件之一,其主要功能是提供真空环境下的测试空间,并保证测试空间内的真空度。真空室通常由不锈钢或铝合金制成,并具有较高的抗腐蚀性和耐高温性能。为了保证测试精度,真空室内表面必须经过特殊处理,如...

  • 2023-04-20

    微波PECVD是一种使用微波等离子体来制备薄膜的方法。在微波过程中,通过微波激励在等离子体气氛中生成活性离子和激发态粒子,这些粒子以高能量撞击到表面,从而促使反应物发生化学反应并形成薄膜。与传统PECVD方法相比,具有许多优点。首先,可以在相对宽广的压力范围内进行薄膜生长。其次,可以在低功率下生长高质量薄膜。更重要的是,可以在低温下生长薄膜,是一种非常适合于材料生长的方法。通过使用微波场使振荡的分子激发成等离子体状态。等离子体状态的气体分子具有活性,可出现分子分解或发生化学反...

  • 2023-03-21

    PEALD系统是一种化学气相沉积技术,广泛应用于微电子设备制造、太阳能电池和纳米材料研究等领域。以原子层沉积技术为基础,通过在反应室中交替注入两种气体,执行反应和清洗过程,实现对表面沉积物的逐层生长。PEALD系统的组成由四个主要部分构成:反应室、进气系统、真空系统和控制系统。其中反应室是最重要的组成部分,用于承载沉积表面和反应气体。反应室具有良好的密封性能,以确保反应气体能够准确传递到沉积表面。反应室内部的沉积表面是由基板表面形成的,在表面形成的沉积物层上进行PEALD沉积...

  • 2023-02-20

    掩模板清洗机是一款带有小占地面积的理想设备,并且很容易安装在空间有限的超净间中。该系列设备都具有出众的清洗能力,并可用于非常广泛的基片。提供了可控的化学试剂滴胶能力,这使得颗粒从基片表面的去除能力得以进一步加强。SWC和LSC具备对点试剂滴胶系统,可以zui大程度节省化学试剂的用量的。滴胶系统支持可编程的化学试剂混合能力,提供了可控的化学试剂在整个基片上的分布。掩模板清洗机应用:1.带图案或不带图案的掩模版和晶圆片2.Ge,GaAs以及InP晶圆片清洗3.CMP处理后的晶圆片...

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