• NANO-MASTER产品介绍

    点击次数:91 发布时间:2020/6/15
    提 供 商: 那诺中国有限公司 资料大小:
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    NANO-MASTER产品应用于LED、微机电系统、光电子学、纳米技术、太阳能电池、半导体和空间模拟等。主要产品有用于SiO2/Si3N4/DLC/CNT/石墨烯等沉积的PECVD等离子体化学气相沉积,溅射系统(RF/DC/反应溅/共溅/组合溅),热蒸镀和E-Beam蒸镀,ALD原子层沉积,用于InGaN/AlGaN等氮化物沉积的PA-MOCVD,IBE/RIE/ICP/DRIE刻蚀系统,兆声波无损湿法清洗/去胶/剥离/刻蚀系统,热真空系统。

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