• 产品名称:等离子体增强MOCVD

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    产品报价:

    产品特点:等离子体增强MOCVD:针对InGaN及AlGaN沉积工艺所研发的台式等离子辅助金属有机化学气相沉积系统(PA-MOCVD),该系统具有5个鼓泡装置(各带独立的冷却槽)、加热的气体管路、950度样品台三个气体环、淋浴式气体分布的RF射频等离子源以及工艺终端的N2冲洗、 250l/sec涡轮分子泵及无油真空泵(5 x 10-7Torr极限真空)、PC全自动控制,完全的安全

    等离子体增强MOCVD的详细资料:

    等离子体增强MOCVD

    等离子体增强MOCVD概述:

        MOVPE,也就是大名鼎鼎的MOCVD(金属有机物化学气相沉积), 针对InGaN及AlGaN沉积工艺所研发的台式等离子辅助金属有机化学气相沉积系统(PA-MOCVD),该系统具有加热的气体管路、5个鼓泡装置(各带独立的冷却槽)、950度样品台三个气体环、PC全自动控制、淋浴式气体分布的RF射频等离子源以及工艺终端的N2冲洗、 250l/sec涡轮分子泵及无油真空泵(5 x 10-7Torr极限真空),完全的安全互锁。

        目前,NANO-MASTER(那诺-马斯特)的这项技术延伸到5个4"晶圆的立柜式独立批处理系统,该系统可以集成到集群配置中以满足高产量的要求。

    型号:

    • 台式系统
    • 5个带独立冷却槽的起泡器
    • 加热的气体管路
    • 950 °C样品台,2"晶圆片
    • 3个气体环
    • RF等离子源,带淋浴头气体分布
    • 工艺完成后N2自动冲洗
    • 极限真空5x10-7Torr
    • 250 l/s的涡轮分子泵串接无油干泵
    • 通过LabView软件实现PC计算机全自动控制
    • 菜单驱动,4级密码访问控制
    • 完整的安全联锁

     配置:

    • 独立系统
    • 14"不锈钢立方体腔体
    • 1次在8"样品台上处理1个6"晶圆片或在12"样品台上处理5片4"片子
    • 加热的气体管路
    • RF等离子源,自动调谐
    • 淋浴头气体分布
    • 1100°C的旋转样品台
    • N2冲洗
    • 手动或自动的晶圆片上下载
    • 可以兼容到集群配置中

    应用:

    • 35族半导体层
    • 蓝色发光二极管
    • 激光二极管
    • 紫外-可见光谱光电中的氮化铟纳米棒
    • 3D2D材料中的二硫化钼、氮化硼、石墨烯

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