金属有机化学气相沉积系统MOVPE设备：针对InGaN及AlGaN沉积工艺所研发的台式等离子辅助（PA-MOCVD）,该系统具有5个鼓泡装置（各带独立的冷却槽）、加热的气体管路、950度样品台三个气体环、淋浴式气体分布的RF射频等离子源以及工艺终端的N2冲洗、250l/sec涡轮分子泵及无油真空泵（5 x 10-7Torr极限真空）、PC全自动控制。

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