LSC-5000全自动兆声大基片湿法去胶系统：Nano-Master兆声大基片湿法刻蚀系统提供高可重复性、高均匀性及的兆声清洗、兆声辅助下光刻胶剥离，以及湿法刻蚀。该系统为全自动机械手上下载片，可以在一个工艺步骤中包含了的无损兆声清洗、化学试剂清洗、刷子清洗以及干燥功能。

兆声湿法去胶技术

LSC-5000全自动兆声大基片湿法去胶系统概述：

兆声和清洗技术的发展，对MEMS和半导体等领域的晶圆和掩模版清洗提供了的水平，可以帮助用户获得z干净的晶圆片和掩模版。

NANO-MASTER提供兆声单晶圆&掩模清洗(SWC)系统，用于的无损兆声清洗。可以适用于易受损的带图案或无图案的基片，包含带保护膜的掩模版。为了在确保不损伤基片的情况下达到*化的清洗效果，兆声能量的密度必须保持在稍稍低于样片上任意位置上的损伤阈值。NANO-MASTER的技术确保了声波能量均匀分布到整个基片表面，通过分布能量的z大化支持z理想的清洗，同时保证在样片的损伤阈值范围内。

LSC系统提供了可控的化学试剂滴胶能力，这使得颗粒从基片表面的去除能力得以进一步加强。SWC和LSC具备对点试剂滴胶系统，可以*节省化学试剂的用量的。滴胶系统支持可编程的化学试剂混合能力，提供了可控的化学试剂在整个基片上的分布。

通过联合使用化学试剂滴胶和NANO-MASTER的兆声清洗技术，系统去除颗粒的能力得到进一步优化。颗粒从表面被释放的能力也因此得到提升，从而被释放的颗粒在幅流的DI水作用下被扫除出去，而把回附的数量降到了z低水平。从基片表面被去除。如果没有使用幅流DI水的优势，的静态可循环兆声清洗槽会有更大数量的颗粒回附，并且因此需要更多的去除这些颗粒。

此外，NANO-MASTER的清洗机都还提供了一系列的选配功能。PVA软毛刷提供了机械的方式去除无图案基片上的污点和残胶。DI水臭氧化的选配项提供了有机物的去除，而无须腐蚀性的化学试剂。我们的氢化DI水系统跟兆声能量结合可以达到纳米级的颗粒去除。根据不同的应用，某些选配项将会进一步提高设备去除不想要的颗粒和残留物的能力。

LSC系统能够就地实现热氮或异丙醇甩干。“干进干出” 一步工艺可以在我们的系统中以z低的投资和购置成本来实现。NANO-MASTER清洗机的工艺处理时间可以在3-5分钟内完成，具体是3分钟还是5分钟取决于基片的尺寸以及附加的清洗配件的使用情况。

NANO-MASTER的技术也适用于清洗背部以及带保护膜掩模版前面的对准标记，降低这些掩模版的不必要去除和重做保护膜的几率。它也可以用于去除薄膜胶黏剂的黏附性并准备表面以便再次覆膜。此外，带薄膜掩模版的全部正面的兆声清洗以及旋转甩干可以做到无损并且对薄膜无渗漏。

LSC-5000全自动兆声大基片湿法去胶系统应用：

• 光刻胶去除/剥离
• 硅片
• 蓝宝石片
• 圆框架上的芯片
• 显示面板
• ITO涂覆的显示屏
• 带保护膜的分划版
• 掩模版空白部位
• 掩模版接触部位
• 带保护膜/不带保护膜的掩模版

特点：

• 支持450mm直径的圆片或15”x15”方片
• 带兆声、DI、刷子、热DI、高压DI、热氮、化学试剂滴胶臂的大腔体
• 带化学试剂滴胶的刷子转速可调节
• 带LABVIEW软件的PC全自动控制
• 触摸屏用户界面
• 机械手上下载片，带EFEM以及SMIF界面
• 安全互锁及警报装置
• 30”D x 26”W 的占地面积  

选配项：

• 化学试剂传输模块
• Piranha溶液清洗                                       
• 臭氧化DI水（20ppm的O3）
• 氢化的DI水
• 高压DI水
• 热DI水
• 溶剂和酸分离排放
• IR红外加热
• DI水循环机
• 耐火立柜