• 点击放大

    产品名称：NIE-3500（A）全自动离子束清洗系统

    产品型号：

    产品报价：

    产品特点：NIE-3500（A）全自动离子束清洗系统：是一款自动放片/取片，并且工艺过程为全自动计算机控制的紧凑型独立的立柜式离子束刻蚀系统，可以用于表面清洗、表面处理、离子铣。

    NIE-3500（A）全自动离子束清洗系统的详细资料：

    Ion Beam离子束清洗

    NIE-3500（A）全自动离子束清洗系统产品概述：该系统为全自动上下载片，并且通过计算机全自动实现工艺控制的紧凑型独立的立柜式离子束刻蚀系统，系统具有结构紧凑、功能强大、自动化程度高、模块化设计易于维护、低成本的优势。该系统所配套的所有核心组件均为。

    NIE-3500（A）全自动离子束清洗系统产品特点：

    • 低成本
    • 带预真空锁，自动上下载片
    • 离子束：高达2KV/10mA
    • 离子电流密度100-360uA/cm2
    • 离子束直径：4",5",6"
    • 兼容反应及非反应气体(Ar, O2, CF4,Cl2)
    • 极限真空5x10-7Torr
    • 260l/s涡轮分子泵，串接500 l/min干泵
    • 14"不锈钢或铝质腔体
    • 水冷旋转/倾斜样品台(NIE-3500)
    • 自动上下载片（NIE-3500）
    • 基于LabView软件的PC计算机全自动控制
    • 占地面积30"x30"

    产品应用：

    • 表面处理
    • 离子铣
    • 表面清洗
    • 带活性气体的离子束刻蚀：  光栅刻蚀，以及SiO2，Si和金属的深槽刻蚀

     

      　如果你对NIE-3500（A）全自动离子束清洗系统感兴趣，想了解更详细的产品信息，填写下表直接与厂家联系：

      留言框

      • 产品：

      • 补充说明：

      • 您的单位：

      • 您的姓名：

      • 联系电话：

      • 常用邮箱：

      • 详细地址：

      • 省份：

      • 验证码：

        请输入计算结果（填写阿拉伯数字），如：三加四=7

      　相关同类产品：
      NIE-3500（M）离子束清洗系统  NIE-3500（A）全自动离子束清洗系统  NIE-3000离子束清洗系统 
    扫一扫访问手机站扫一扫访问手机站
    访问手机站