派瑞林parylene镀膜设备Series 3000 LV 600/700为派瑞淋涂覆系统，采用模块化架构，主要由两个功能模块组成：工艺腔室模块和蒸发器模块。广泛应用于多个行业，包括航天航空、半导体、新能源、军工、汽车、手机、新型显示、电子元器件、光通讯、轨道交通、3C数码及电子等领域。

派瑞林parylene镀膜设备Series 3000 LV 600/700为派瑞淋涂覆系统，广泛应用于多个行业，包括航天航空、半导体、新能源、军工、汽车、手机、新型显示、电子元器件、光通讯、轨道交通、3C数码及电子等领域。

Parylene System Series 3000 LV 600/700 是一款模块化设计的系统，主要由两部分组成：腔室模块与蒸发器模块。我们众多设备均采用此类模块化设计，旨在确保系统的灵活性，从而能够根据客户需求对几乎任何组件进行定制化调整。其中，“3000"代表产品系列，而“LV600/700"则用于标识机器腔室的尺寸规格。该尺寸设计主要取决于您单次运行中需要涂覆的基板尺寸及数量要求。  我们所提供的腔室最大容积可达 1000 升。此外，该系统标配等离子源，并可选配旋转工作台、加热/冷却台以及多达 3 个质量流量控制器，以满足不同气体入口的需求。

派瑞林parylene镀膜设备Series 3000 LV 600/700

我们提供的Parylene派瑞林真空镀膜设备既有适用于科研领域的实验型机型，也有适用于工业量产领域的工业机型。同时，我们也可以根据需求在真空腔体中集成等离子源，实现在沉积之前能够对基材进行表面化处理，从而提高薄膜的粘附性。另外，我们也可以提供适用于超净间使用的系统设计，在小占地面积下提供高性能技术，节约大量的超净间占地空间。

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