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Parylene派瑞林镀膜设备
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Parylene派瑞林镀膜设备Labcoater Series 100是一款具备可更换工艺腔室的高性价比系统,广泛应用于航天航空、半导体、新能源、军工、汽车、手机、新型显示、电子元器件、光通讯、轨道交通、3C数码及电子等领域。通过Parylene涂敷后的产品具有高度的绝缘强度、耐高低温、抗腐蚀、耐酸碱、润滑、防尘、防水、防潮、防锈、透明、抗老化、生物相容性等作用。
该型号Parylene派瑞林镀膜设备具有以下特点:
1、结构紧凑、配有移动式支架及小型冷阱,安装位置灵活,便于实验室布局调整;
2、特别适用于小批量生产及科研实验场景;
3、可更换真空腔室设计有助于提升设备清洁效率;
4、配备可拆卸透明上盖,便于实时观察与基材更换操作;
5、系统集成自动工艺控制功能,并支持网络连接,便于数据管理与远程监控。
Labcoater Series 100派瑞林真空镀膜系统:
尺寸 | L:850mm W:900mm H:1600mm |
重量 | 80kg |
腔体容量 | 30L |
工艺腔体 | 直径300mm(其他尺寸可定制) |
冷却系统 | 4L(机电式冷阱) |
真空连接 | DIN 25 ISO-KF |
排气 | 电磁式排气阀 |
真空泵 | 抽速10m3/h |
电气连接 | 三相五线制,交流 50 Hz,电压 400 V / 240 V,最大功率消耗 8.5 kW |
我们提供的Parylene派瑞林真空镀膜机既有适用于科研领域的实验型机型,也有适用于工业量产领域的工业机型。同时,我们也可以根据需求在真空腔体中集成等离子源,实现在沉积之前能够对基材进行表面化处理,从而提高薄膜的粘附性。另外,我们也可以提供适用于超净间使用的系统设计,在小占地面积下提供高性能技术,节约大量的超净间占地空间。
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