• 产品名称:光学镀膜系统

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    产品报价:

    产品特点:光学镀膜系统:NANO-MASTER NOC-4000光学涂覆系统提供先进的技术,在一个腔体中实现原子级清洗和光学样片抛光,然后把样片传送到第二级腔体中对同一样片进行表面涂覆,整个过程不间断真空。系统的设计也可以支持其中任一个腔体的单独使用,同时具备各自的自动上/下载片功能。

    光学镀膜系统的详细资料:

    光学镀膜系统概述:NANO-MASTER NOC-4000光学涂覆系统提供先进的技术,在一个腔体中实现原子级清洗和光学样片抛光,然后把样片传送到第二级腔体中对同一样片进行表面涂覆,整个过程不间断真空。系统的设计也可以支持其中任一个腔体的单独使用,同时具备各自的自动上/下载片功能。

     

    光学镀膜系统应用

    • 光学涂层
    • 溅射
    • 离子束辅助沉积
    • 离子束刻蚀清洗
    • 离子束辅助反应刻蚀
    • 红外涂层
    • 表面处理

     

    光学镀膜系统产品特点:

    • 射频偏压样品台
    • 膜厚监测仪
    • 极限真空5x10-7Torr
    • 高精度及高重复性
    • 高品质膜层
    • 原子级的洁净表面
    • 原子级清洗和抛光
    • 通过LabView软件实现PC计算机全自动控制
    • 自动上下载片
    • 两个腔体之间自动传送
    • 菜单驱动,4级密码访问保护
    • 完整的安全联锁
    • 占地面积46”D x 44”W

     

    光学镀膜系统选配项:

    • 向下/向上溅射
    • 共溅射
    • DC,RF以及脉冲电源
    • 离子束辅助沉积
    • 电子束源
    • 等离子源

     

     

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