• 点击放大

    产品名称：NMC-3000等离子辅助MOCVD

    产品型号：

    产品报价：

    产品特点：NMC-3000等离子辅助MOCVD系统：针对InGaN及AlGaN沉积工艺所研发的台式等离子辅助金属有机化学气相沉积系统（PA-MOCVD）,该系统具有5个鼓泡装置（各带独立的冷却槽）、加热的气体管路、950度样品台三个气体环、淋浴式气体分布的RF射频等离子源以及工艺终端的N2冲洗、250l/sec涡轮分子泵及无油真空泵（5 x 10-7Torr极限真空）、PC全自动控制。

    NMC-3000等离子辅助MOCVD的详细资料：

    等离子辅助MOCVD技术

    NMC-3000等离子辅助MOCVD概述：NANO-MASTER针对InGaN及AlGaN沉积工艺所研发的台式等离子辅助金属有机化学气相沉积系统(PA-MOCVD),该系统具有5个鼓泡装置(各带独立的冷却槽)、加热的气体管路、950度样品台三个气体环、淋浴式气体分布的RF射频等离子源以及工艺终端的N2冲洗、250l/sec涡轮分子泵及无油真空泵(5 x 10-7Torr极限真空)、PC全自动控制，*的安全互锁。

    目前，这项技术延伸到5个4"晶圆的立柜式独立批处理系统，该系统可以集成到集群配置中以满足高产量的要求。

    NMC-3000等离子辅助MOCVD应用：Green LED’s (GaN, InGaN, AlGaN, ...)

    NMC-3000等离子辅助MOCVD系统特点：

    • 台式系统
    • 5个带独立冷却槽的起泡器
    • 加热的气体管路
    • 950 °C样品台，2”晶圆片
    • 3个气体环
    • RF等离子源，带淋浴头气体分布
    • 工艺完成后N2自动冲洗
    • 极限真空5x10-7Torr
    • 260 l/s的涡轮分子泵串接无油干泵
    • 通过LabView软件实现PC计算机全自动控制
    • 菜单驱动，4级密码访问控制
    • 完整的安全联锁

     

     

    　如果你对NMC-3000等离子辅助MOCVD感兴趣，想了解更详细的产品信息，填写下表直接与厂家联系：

    留言框

    • 产品：

    • 您的单位：

    • 您的姓名：

    • 联系电话：

    • 常用邮箱：

    • 省份：

    • 详细地址：

    • 补充说明：

    • 验证码：

      请输入计算结果（填写阿拉伯数字），如：三加四=7

    　相关同类产品：
    等离子体增强MOCVD  NMC-4000（M）PA-MOCVD设备  NMC-4000（A）全自动PAMOCVD系统  NMC-4000（M） MOCVD设备