微波等离子化学气相沉积系统
微波等离子化学气相沉积系统概述:NANO-MASTER PECVD系统能够沉积高质量的SiO2, Si3N4, 或DLC薄膜,至大可达6” 直径的基片上,该系统采用淋浴头电极或中空阴极射频等离子源来产生等离子,具有分形气流分布的优势,样品台可以通过RF或脉冲DC产生偏压。并可以支持加热和循环冷却水的冷却.使用250l/sec涡轮分子泵及3.5 cfm的机械泵,腔体可以达到低至10-7 torr的真空。
微波等离子化学气相沉积系统应用:
微波等离子化学气相沉积系统特点:
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