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NEE-4000(M)电子束蒸发系统

NEE-4000(M)电子束蒸发系统:NEE-4000电子束蒸发系统为双腔体的配置,样品台位于主腔体,二级腔体则用于安置电子束源。两个腔体之间的门阀可以作为预真空锁,使得电子束源腔体保持真空的情况下,实现基片通过主腔体放入基片到样平台(或夹具)上或从中取出。自动装/卸载基片可通过第三方的预真空锁实现。通过PC计算机控制,系统可以提供多电子束源的共蒸发能力,以及对组分或组分梯度进行编程的能力。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2023-11-13
  • 访  问  量:3551
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产品详情

电子束蒸发技术

NEE-4000(M)电子束蒸发系统概述:NANO-MASTER NEE-4000电子束蒸发系统为双腔体的配置,其中样品台位于主腔体内,二级腔体则用于安置电子束源。这种在两个腔体之间带有门阀的配置可以作为预真空锁,使得电子束源腔体保持真空的情况下,实现基片通过主腔体放入基片到样平台(或夹具)上或从中取出。在需要自动装/卸载基片时,他可以通过第三方的预真空锁来实现,这可以设置于立方体的左侧。通过PC计算机控制,系统可以提供多电子束源的共蒸发能力,以及对组分或组分梯度进行编程的能力。

NEE-4000(M)电子束蒸发系统特点:

  • 顺序蒸发或共蒸发
  • 双电子束源
  • 多凹槽电子枪
  • 可编程电子束扫描
  • 10KW开关电源
  • 涡轮分子泵,极限真空5x10-7Torr
  • 手动上下载片,带预真空锁
  • 材料和衬垫更换非常方便
  • 晶振式膜厚监测仪
  • 通过LabView软件实现PC计算机控制
  • 菜单驱动,四级访问密码保护
  • *的安全联锁

产品型号:

  • NEE-3500:计算机全自动控制的紧凑型独立系统
  • NEE-4000:计算机全自动控制的独立系统
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