• 产品名称:NEE-4000(M)电子束蒸发系统

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    产品特点:NEE-4000(M)电子束蒸发系统:NEE-4000电子束蒸发系统为双腔体的配置,样品台位于主腔体,二级腔体则用于安置电子束源。两个腔体之间的门阀可以作为预真空锁,使得电子束源腔体保持真空的情况下,实现基片通过主腔体放入基片到样平台(或夹具)上或从中取出。自动装/卸载基片可通过第三方的预真空锁实现。通过PC计算机控制,系统可以提供多电子束源的共蒸发能力,以及对组分或组分梯度进行编程的能力。

    NEE-4000(M)电子束蒸发系统的详细资料:

    电子束蒸发技术

    NEE-4000(M)电子束蒸发系统概述:NANO-MASTER NEE-4000电子束蒸发系统为双腔体的配置,其中样品台位于主腔体内,二级腔体则用于安置电子束源。这种在两个腔体之间带有门阀的配置可以作为预真空锁,使得电子束源腔体保持真空的情况下,实现基片通过主腔体放入基片到样平台(或夹具)上或从中取出。在需要自动装/卸载基片时,他可以通过第三方的预真空锁来实现,这可以设置于立方体的左侧。通过PC计算机控制,系统可以提供多电子束源的共蒸发能力,以及对组分或组分梯度进行编程的能力。

    NEE-4000(M)电子束蒸发系统特点:

    • 顺序蒸发或共蒸发
    • 双电子束源
    • 多凹槽电子枪
    • 可编程电子束扫描
    • 10KW开关电源
    • 涡轮分子泵,极限真空5x10-7Torr
    • 手动上下载片,带预真空锁
    • 材料和衬垫更换非常方便
    • 晶振式膜厚监测仪
    • 通过LabView软件实现PC计算机控制
    • 菜单驱动,四级访问密码保护
    • 完全的安全联锁

    Features:

    • Sequential or Co-Evaporation 
    • Dual E-Beam Source 
    • Multi-Pocket E-Gun 
    • Programmable Beam Scan
    • 10 KW Switching Power Supply  
    • Turbomolecular Pump, 10-7Torr  
    • Manual Load/Unload w/Load Lock  
    • Easy Material and Liner Change
    • Crystal Thickness Monitor 
    • PC Controlled with LabVIEW 
    • Recipe Driven, Password Protected  
    • Fully Safety Interlocked 


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