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刻蚀系统
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NIE-3500(R)RIBE反应离子束刻蚀
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NIE-3500(R)RIBE反应离子束刻蚀产品概述:该系统为计算机全自动实现工艺控制的紧凑型独立的立柜式离子束刻蚀系统,具有结构紧凑、功能强大、自动化程度高、模块化设计易于维护、低成本的优势。所有核心组件均为。
NIE-3500(R)RIBE反应离子束刻蚀产品特点:
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