• NPE-4000微波等离子化学气相沉积系统:能够沉积高质量的SiO2,Si3N4,或DLC薄膜到Z大可达12“直径的基片上.采用淋浴头电极或中空阴极射频等离子源来产生等离子,样品台可以通过RF或脉冲DC产生偏压。并可以支持加热和循环冷却水的冷却.使用250l/sec涡轮分子泵及3.5cfm的机械泵,腔体可以达到低至10-7torr的真空。标准配置含1路惰性气体、3路活性气体。
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