• SWC-4000兆声清洗系统:Nano-Master兆声单晶圆及掩模版清洗机提供高可重复性、高均匀性及Z先进的兆声清洗。它是高度集成的一体化系统,可以在一个工艺步骤中包含了的无损兆声清洗、化学试剂清洗、刷子清洗以及干燥功能。
  • SWC-3000兆声清洗机:Nano-Master兆声单晶圆及掩模版清洗机提供高可重复性、高均匀性及先进的兆声清洗效果。它可以在一个工艺步骤中包含了的无损兆声清洗、化学试剂清洗、刷子清洗以及干燥功能。
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