• 产品名称:光学镀膜系统

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    产品特点:光学镀膜系统:NANO-MASTER NOC-4000光学涂覆系统提供先进的技术,在一个腔体中实现原子级清洗和光学样片抛光,然后把样片传送到第二级腔体中对同一样片进行表面涂覆,整个过程不间断真空。系统的设计也可以支持其中任一个腔体的单独使用,同时具备各自的自动上/下载片功能。

    光学镀膜系统的详细资料:

    光学元件原子级清洗镀膜系统

    光学镀膜系统概述:NANO-MASTER NOC-4000光学涂覆系统提供先进的技术,在一个腔体中实现原子级清洗和光学样片抛光,然后把样片传送到第二级腔体中对同一样片进行表面涂覆,整个过程不间断真空。系统的设计也可以支持其中任一个腔体的单独使用,同时具备各自的自动上/下载片功能。

    光学镀膜系统应用

    • Optical Coatings 光学涂层
    • Sputtering  溅射
    • IBAD  IBAD离子束辅助沉积
    • Ion Beam Etching Cleaning  离子束刻蚀清洗
    • Ion Beam Assisted Reactive Etching 离子束辅助反应刻蚀
    • Infrared Coatings  红外涂层
    • Surface Treatment   表面处理

    产品特点:

    • RF Biasable Platen  RF射频偏压样品台
    • Thickness Monitor   膜厚监测仪
    • 5x10-7 Torr Base Pressure  极限真空5x10-7Torr
    • High Accuracy and Repeatability  高精度及高重复性
    • High Quality Films  高品质膜层
    • Atomic Level Clean Surfaces   原子级的洁净表面
    • Atomic Cleaning and Polishing  原子级清洗和抛光
    • PC Controlled with LabVIEW  通过LabView软件实现PC计算机全自动控制
    • Automatic Load/Unload  自动上下载片
    • Automatic Transfer Between Chambers  两个腔体之间自动传送
    • Recipe Driven, Password Protected 菜单驱动,4级密码访问保护
    • Safety Interlocks 完整的安全联锁
    • 46”D x 44”W Footprint  占地面积46”D x 44”W

    选配项:

    • Sputter Down/Up  向下/向上溅射
    • Co-Sputtering 共溅射
    • DC, RF and Pulsed Power Supplies  DCRF以及脉冲电源
    • Ion Beam Assisted Deposition 离子束辅助沉积
    • E-Beam Sources 电子束源
    • Plasma Sources 等离子源

     

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